Επισκόπηση της τεχνολογίας επίστρωσης υαλοπινάκων TGV Νο. 1
Επίστρωση διαμπερούς οπής γυαλιού TGV είναι μια αναδυόμενη τεχνολογία μικροηλεκτρονικής συσκευασίας που περιλαμβάνει τη δημιουργία οπών σε γυάλινα υποστρώματα και την επιμετάλλωση των εσωτερικών τοιχωμάτων τους για την επίτευξη ηλεκτρικών διασυνδέσεων υψηλής πυκνότητας. Σε σύγκριση με τα παραδοσιακά TSV (Through Silicon Via) και τα οργανικά υποστρώματα, το γυαλί TGV προσφέρει πλεονεκτήματα όπως χαμηλή απώλεια σήματος, υψηλή διαφάνεια και εξαιρετική θερμική σταθερότητα. Αυτές οι ιδιότητες καθιστούν το TGV κατάλληλο για εφαρμογές σε επικοινωνία 5G, οπτοηλεκτρονική συσκευασία, αισθητήρες MEMS και άλλα.
Νο. 2 Προοπτικές Αγοράς: Γιατί τα τζάμια TGV τραβούν την προσοχή;
Με την ταχεία ανάπτυξη της επικοινωνίας υψηλής συχνότητας, της οπτοηλεκτρονικής ολοκλήρωσης και των προηγμένων τεχνολογιών συσκευασίας, η ζήτηση για γυαλί TGV αυξάνεται σταθερά:
Επικοινωνία 5G και χιλιοστομετρικού κύματος: Τα χαρακτηριστικά χαμηλών απωλειών του γυαλιού TGV το καθιστούν ιδανικό για συσκευές RF υψηλής συχνότητας, όπως κεραίες και φίλτρα.
Οπτοηλεκτρονική Συσκευασία: Η υψηλή διαφάνεια του γυαλιού είναι πλεονεκτική για εφαρμογές όπως η φωτονική πυριτίου και το LiDAR.
Συσκευασία αισθητήρων MEMS: Το γυαλί TGV επιτρέπει διασυνδέσεις υψηλής πυκνότητας, βελτιώνοντας τη σμίκρυνση και την απόδοση των αισθητήρων.
Προηγμένη Συσκευασία Ημιαγωγών: Με την άνοδο της τεχνολογίας Chiplet, τα γυάλινα υποστρώματα TGV έχουν σημαντικό δυναμικό στις συσκευασίες υψηλής πυκνότητας.
Λεπτομερής διαδικασία επίστρωσης γυαλιού PVD TGV Νο. 3
Η επιμετάλλωση της επίστρωσης TGV Glass PVD περιλαμβάνει την εναπόθεση αγώγιμων υλικών στα εσωτερικά τοιχώματα των οπών διέλευσης για την επίτευξη ηλεκτρικών διασυνδέσεων. Η τυπική ροή της διεργασίας περιλαμβάνει:
1. Σχηματισμός οπών γυαλιού TGV: Για τη δημιουργία οπών διέλευσης TGV χρησιμοποιείται διάτρηση με λέιζερ (λέιζερ UV/CO₂), υγρή χάραξη ή ξηρή χάραξη, ακολουθούμενη από καθαρισμό.
2. Επιφανειακή επεξεργασία: Εφαρμόζεται επεξεργασία με πλάσμα ή χημική επεξεργασία για την ενίσχυση της πρόσφυσης μεταξύ του γυαλιού και του στρώματος επιμετάλλωσης.
3. Εναπόθεση Στρώματος Σπόρων: Η PVD (Φυσική Εναπόθεση Ατμών) ή η CVD (Χημική Εναπόθεση Ατμών) χρησιμοποιείται για την εναπόθεση ενός μεταλλικού στρώματος σπόρων (π.χ. χαλκός, τιτάνιο/χαλκός, παλλάδιο) στα τοιχώματα των οπών του γυαλιού.
4. Ηλεκτρολυτική επιμετάλλωση: Αγώγιμος χαλκός εναποτίθεται στο στρώμα σπόρων μέσω ηλεκτρολυτικής επιμετάλλωσης για την επίτευξη διασυνδέσεων χαμηλής αντίστασης.
5. Μετά την επεξεργασία: Αφαιρείται η περίσσεια μετάλλου και πραγματοποιείται παθητικοποίηση της επιφάνειας για τη βελτίωση της αξιοπιστίας.
Προκλήσεις Διαδικασίας Νο. 4: Προκλήσεις της Μηχανής Επίστρωσης Βαθιών Οπών Γυαλιού TGV
Παρά τις πολλά υποσχόμενες προοπτικές της, η μηχανή επίστρωσης βαθιών οπών γυαλιού TGV αντιμετωπίζει αρκετές τεχνικές προκλήσεις:
1. Ομοιομορφία επίστρωσης βαθιάς οπής γυαλιού TGV: Οι γυάλινες βαθιές οπές με υψηλές αναλογίες διαστάσεων (5:1 έως 10:1) συχνά υποφέρουν από συσσώρευση μετάλλου στην είσοδο της διόδου και ανεπαρκή πλήρωση στον πυθμένα.
2. Εναπόθεση στρώματος σπόρων: Το γυαλί είναι μονωτικό, γεγονός που καθιστά δύσκολη την εναπόθεση ενός αγώγιμου στρώματος σπόρων υψηλής ποιότητας στα τοιχώματα των αγωγών.
3. Έλεγχος τάσης: Οι διαφορές στους συντελεστές θερμικής διαστολής μετάλλου και γυαλιού μπορούν να οδηγήσουν σε στρέβλωση ή ρωγμές.
4. Πρόσφυση στρωμάτων επίστρωσης βαθιών οπών γυαλιού: Η λεία επιφάνεια του γυαλιού έχει ως αποτέλεσμα ασθενή πρόσφυση μετάλλου, γεγονός που καθιστά απαραίτητες βελτιστοποιημένες διαδικασίες επιφανειακής επεξεργασίας.
5. Μαζική Παραγωγή και Έλεγχος Κόστους: Η βελτίωση της αποδοτικότητας της μεταλλοποίησης και η μείωση του κόστους είναι κρίσιμες για την εμπορευματοποίηση της τεχνολογίας TGV.
Λύση εξοπλισμού επίστρωσης γυαλιού TGV PVD της Zhenhua Vacuum Νο. 5 – Οριζόντια επίστρωση με ενσωματωμένη επίστρωση
Πλεονεκτήματα εξοπλισμού:
1. Αποκλειστική τεχνολογία επικάλυψης μεταλλοποίησης γυαλιού μέσω οπών
Η ιδιόκτητη τεχνολογία επίστρωσης μεταλλοποίησης γυαλιού μέσω οπών της Zhenhua Vacuum μπορεί να χειριστεί γυαλί μέσω οπών με λόγο διαστάσεων έως και 10:1, ακόμη και για μικροσκοπικά ανοίγματα τόσο μικρά όσο 30 μικρά.
2. Προσαρμόσιμο για διαφορετικά μεγέθη
Υποστηρίζει γυάλινα υποστρώματα διαφόρων μεγεθών, συμπεριλαμβανομένων 600×600mm, 510×515mm ή μεγαλύτερων.
3. Ευελιξία Διαδικασίας
Συμβατό με αγώγιμα ή λειτουργικά υλικά λεπτής μεμβράνης όπως Cu, Ti, W, Ni και Pt, καλύπτοντας ποικίλες απαιτήσεις εφαρμογών για αγωγιμότητα και αντοχή στη διάβρωση.
4. Σταθερή απόδοση και εύκολη συντήρηση
Εξοπλισμένο με έξυπνο σύστημα ελέγχου για αυτόματη ρύθμιση παραμέτρων και παρακολούθηση σε πραγματικό χρόνο της ομοιομορφίας του πάχους της μεμβράνης. Ο αρθρωτός σχεδιασμός εξασφαλίζει εύκολη συντήρηση και μειωμένο χρόνο διακοπής λειτουργίας.
Πεδίο εφαρμογής: Κατάλληλο για προηγμένες συσκευασίες TGV/TSV/TMV, μπορεί να επιτύχει επίστρωση στρώματος σπόρων μέσω οπών με αναλογία βάθους οπών ≥ 10:1.
– Αυτό το άρθρο δημοσιεύεται απόΚατασκευαστής μηχανημάτων επίστρωσης οπών γυαλιού TGVΖενχουά Σκούπα
Ώρα δημοσίευσης: 07 Μαρτίου 2025