Ο αντιδραστικός ψεκασμός μαγνητρονίου σημαίνει ότι παρέχεται αντιδραστικό αέριο για να αντιδράσει με τα ψεκασμένα σωματίδια κατά τη διαδικασία του ψεκασμού για να παραχθεί μια σύνθετη μεμβράνη. Μπορεί να παρέχει αντιδραστικό αέριο για να αντιδράσει με τον ψεκαστήρα σύνθετο στόχο ταυτόχρονα, και μπορεί επίσης να παρέχει αντιδραστικό αέριο για να αντιδράσει με τον ψεκαστήρα μεταλλικό ή κράμα στόχο ταυτόχρονα για να παρασκευαστεί μια σύνθετη μεμβράνη με δεδομένη χημική αναλογία. Τα χαρακτηριστικά του αντιδραστικού ψεκασμού μαγνητρονίου για την παρασκευή σύνθετων μεμβρανών είναι:
(1) Τα υλικά-στόχοι που χρησιμοποιούνται για τον αντιδραστικό ψεκασμό μαγνητρονίου (στόχος ενός στοιχείου ή στόχος πολλαπλών στοιχείων) και τα αέρια αντίδρασης είναι εύκολο να επιτευχθούν με υψηλή καθαρότητα, γεγονός που ευνοεί την παρασκευή σύνθετων μεμβρανών υψηλής καθαρότητας.
(2) Στον αντιδραστικό ψεκασμό μαγνητρονίου, ρυθμίζοντας τις παραμέτρους της διαδικασίας εναπόθεσης, μπορεί να παρασκευαστεί χημική αναλογία ή μη χημική αναλογία σύνθετων μεμβρανών, έτσι ώστε να επιτευχθεί ο σκοπός της ρύθμισης των χαρακτηριστικών της μεμβράνης ρυθμίζοντας τη σύνθεση της μεμβράνης.
(3) Η θερμοκρασία του υποστρώματος γενικά δεν είναι πολύ υψηλή κατά τη διάρκεια της διαδικασίας εναπόθεσης με αντιδραστικό μαγνητρονικό ψεκασμό και η διαδικασία σχηματισμού μεμβράνης συνήθως δεν απαιτεί τη θέρμανση του υποστρώματος σε πολύ υψηλές θερμοκρασίες, επομένως υπάρχουν λιγότεροι περιορισμοί στο υλικό του υποστρώματος.
(4) Ο αντιδραστικός ψεκασμός μαγνητρονίου είναι κατάλληλος για την παρασκευή ομοιογενών λεπτών μεμβρανών μεγάλης επιφάνειας και μπορεί να επιτύχει βιομηχανοποιημένη παραγωγή με ετήσια παραγωγή ενός εκατομμυρίου τετραγωνικών μέτρων επικάλυψης από μία μόνο μηχανή. Σε πολλές περιπτώσεις, η φύση της μεμβράνης μπορεί να αλλάξει απλώς αλλάζοντας την αναλογία του αντιδραστικού αερίου προς το αδρανές αέριο κατά τον ψεκασμό. Για παράδειγμα, η μεμβράνη μπορεί να αλλάξει από μέταλλο σε ημιαγωγό ή μη μέταλλο.
——Αυτό το άρθρο έχεικατασκευαστής μηχανών επικάλυψης κενούΤο Guangdong Zhenhua κυκλοφόρησε
Ώρα δημοσίευσης: 31 Αυγούστου 2023