Der Wolframfaden wird auf eine hohe Temperatur erhitzt, wodurch heiße Elektronen emittiert werden und ein hochdichter Elektronenstrom entsteht. Gleichzeitig wird eine Beschleunigungselektrode eingesetzt, um die heißen Elektronen zu einem hochenergetischen Elektronenstrom zu beschleunigen. Ein hochdichter, hochenergetischer Elektronenstrom ermöglicht eine stärkere Chlorionisierung und die Ionisierung von mehr Atomen der Metallschicht, wodurch mehr Chloridionen entstehen und die Sputterrate verbessert wird. Dadurch erhöht sich die Abscheidungsrate. Eine stärkere Metallionisierung verbessert die Metallionisierungsrate und fördert die Reaktion der Abscheidung des Verbundfilms. Ionen der Metallschicht erreichen das Werkstück, wodurch die Stromdichte des Werkstücks verbessert wird und die Abscheidungsrate erhöht wird.
Bei der Hartbeschichtung mittels Magnetronsputtern erhöhen sich die Stromdichte und die Filmbildung auf der Vorder- und Rückseite der Glühkathode. Vor dem Hinzufügen einer Glühkathode betrug die Stromdichte auf dem Werkstück bei TiSiCN lediglich 0,2 mA/mm2. Nach der Erhöhung der Glühkathode auf 4,9 mA/mm2 (etwa 24-fach) stieg die Filmbildung dicht an. Es zeigt sich, dass bei der Magnetronsputtern-Beschichtungstechnologie die Hinzufügung einer Glühkathode die Abscheidungsrate und die Aktivität der Filmpartikel sehr effektiv verbessert. Diese Technologie kann die Lebensdauer von Turbinenschaufeln, Schlammpumpenkolben und Schleifteilen deutlich verlängern.
–Dieser Artikel wurde veröffentlicht vonHersteller von VakuumbeschichtungsanlagenGuangdong Zhenhua
Veröffentlichungszeit: 11. Oktober 2023