1. Mae dyddodiad â chymorth trawst ïon yn bennaf yn defnyddio trawstiau ïon ynni isel i gynorthwyo i addasu arwyneb deunyddiau.
(1) Nodweddion dyddodiad â chymorth ïon
Yn ystod y broses orchuddio, mae'r gronynnau ffilm a adneuwyd yn cael eu peledu'n barhaus gan ïonau gwefredig o'r ffynhonnell ïon ar wyneb y swbstrad wrth gael eu gorchuddio â thrawstiau ïon gwefredig.
(2) Rôl dyddodiad â chymorth ïonau
Mae ïonau egni uchel yn peledu'r gronynnau ffilm sydd wedi'u rhwymo'n rhydd ar unrhyw adeg; Trwy drosglwyddo egni, mae'r gronynnau a adneuwyd yn ennill mwy o egni cinetig, a thrwy hynny'n gwella cyfraith niwcleiadu a thwf; Yn cynhyrchu effaith cywasgu ar feinwe'r bilen ar unrhyw adeg, gan wneud i'r ffilm dyfu'n fwy dwys; Os chwistrellir ïonau nwy adweithiol, gellir ffurfio haen gyfansawdd stoichiometreg ar wyneb y deunydd, ac nid oes rhyngwyneb rhwng yr haen gyfansawdd a'r swbstrad.
2. Ffynhonnell ïon ar gyfer dyddodiad â chymorth trawst ïon
Nodwedd dyddodiad â chymorth trawst ïonau yw bod atomau'r haen ffilm (gronynnau dyddodiad) yn cael eu peledu'n barhaus gan ïonau ynni isel o'r ffynhonnell ïonau ar wyneb y swbstrad, gan wneud strwythur y ffilm yn drwchus iawn a gwella perfformiad yr haen ffilm. Mae ynni E y trawst ïonau yn ≤ 500eV. Mae ffynonellau ïonau a ddefnyddir yn gyffredin yn cynnwys: ffynhonnell ïonau Kauffman, ffynhonnell ïonau Hall, ffynhonnell ïonau haen anod, ffynhonnell ïonau Hall catod gwag, ffynhonnell ïonau amledd radio, ac ati.
Amser postio: 30 Mehefin 2023