Mae chwistrellu magnetron adweithiol yn golygu bod nwy adweithiol yn cael ei gyflenwi i adweithio â gronynnau wedi'u chwistrellu yn ystod y broses chwistrellu i gynhyrchu ffilm gyfansawdd. Gall gyflenwi nwy adweithiol i adweithio â'r targed cyfansawdd chwistrellu ar yr un pryd, a gall hefyd gyflenwi nwy adweithiol i adweithio â'r targed metel neu aloi chwistrellu ar yr un pryd i baratoi ffilm gyfansawdd gyda chymhareb gemegol benodol. Nodweddion chwistrellu magnetron adweithiol i baratoi ffilmiau cyfansawdd yw:
(1) Mae'r deunyddiau targed a ddefnyddir ar gyfer chwistrellu magnetron adweithiol (targed elfen sengl neu darged aml-elfen) a nwyon adwaith yn hawdd i gael purdeb uchel, sy'n ffafriol i baratoi ffilmiau cyfansawdd purdeb uchel.
(2) Mewn chwistrellu magnetron adweithiol, trwy addasu paramedrau'r broses dyddodiad, gellir paratoi cymhareb gemegol neu gymhareb anghemegol ffilmiau cyfansawdd, er mwyn cyflawni'r diben o reoleiddio nodweddion y ffilm trwy addasu cyfansoddiad y ffilm.
(3) Yn gyffredinol, nid yw tymheredd y swbstrad yn rhy uchel yn ystod y broses dyddodiad chwistrellu magnetron adweithiol, ac fel arfer nid yw'r broses ffurfio ffilm yn ei gwneud yn ofynnol i'r swbstrad gael ei gynhesu i dymheredd uchel iawn, felly mae llai o gyfyngiadau ar ddeunydd y swbstrad.
(4) Mae chwistrellu magnetron adweithiol yn addas ar gyfer paratoi ffilmiau tenau homogenaidd arwynebedd mawr, a gall gyflawni cynhyrchiad diwydiannol gydag allbwn blynyddol o filiwn metr sgwâr o orchudd o un peiriant. Mewn llawer o achosion, gellir newid natur y ffilm trwy newid y gymhareb o nwy adweithiol i nwy anadweithiol yn ystod chwistrellu. Er enghraifft, gellir newid y ffilm o fetel i led-ddargludyddion neu anfetel.
——Mae gan yr erthygl hongwneuthurwr peiriant cotio gwactodRhyddhawyd Guangdong Zhenhua
Amser postio: Awst-31-2023