La polvorització catòdica reactiva significa que es subministra gas reactiu per reaccionar amb les partícules polvoritzades en el procés de polvorització catòdica per produir una pel·lícula composta. Pot subministrar gas reactiu per reaccionar amb l'objectiu del compost de polvorització catòdica al mateix temps, i també pot subministrar gas reactiu per reaccionar amb l'objectiu de metall o aliatge de polvorització catòdica al mateix temps per preparar una pel·lícula composta amb una proporció química determinada. Les característiques de la polvorització catòdica reactiva per preparar pel·lícules compostes són:
(1) Els materials objectiu utilitzats per a la pulverització catòdica reactiva amb magnetró (objectiu d'un sol element o objectiu de diversos elements) i els gasos de reacció són fàcils d'obtenir d'alta puresa, cosa que afavoreix la preparació de pel·lícules compostes d'alta puresa.
(2) En la pulverització catòdica reactiva per magnetró, ajustant els paràmetres del procés de deposició, es pot preparar la proporció química o la proporció no química de les pel·lícules compostes, per tal d'aconseguir l'objectiu de regular les característiques de la pel·lícula ajustant la composició de la pel·lícula.
(3) La temperatura del substrat generalment no és massa alta durant el procés de deposició per pulverització catòdica reactiva de magnetró, i el procés de formació de la pel·lícula normalment no requereix que el substrat s'escalfi a temperatures molt altes, de manera que hi ha menys restriccions sobre el material del substrat.
(4) La polvorització amb magnetró reactiu és adequada per a la preparació de pel·lícules primes homogènies de gran superfície i pot aconseguir una producció industrialitzada amb una producció anual d'un milió de metres quadrats de recobriment des d'una sola màquina. En molts casos, la naturalesa de la pel·lícula es pot canviar simplement canviant la relació entre el gas reactiu i el gas inert durant la polvorització. Per exemple, la pel·lícula es pot canviar de metall a semiconductor o no metall.
——Aquest article téfabricant de màquines de recobriment al buitGuangdong Zhenhua alliberat
Data de publicació: 31 d'agost de 2023