এই যন্ত্রটি মূলত রাসায়নিক বাষ্প জমার মাধ্যমে অক্সাইড ফিল্ম তৈরি করে, যার বৈশিষ্ট্য দ্রুত জমার হার এবং উচ্চ ফিল্ম মানের। যন্ত্রের কাঠামোর ক্ষেত্রে, ক্ল্যাম্পিং দক্ষতা উন্নত করার জন্য ডাবল ডোর কাঠামো ব্যবহার করা হয় এবং স্থিতিশীল এবং নিয়ন্ত্রণযোগ্য প্রবাহ নিশ্চিত করতে এবং কার্যকরভাবে প্রক্রিয়ার স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করতে সর্বশেষ তরল গ্যাস সরবরাহ ব্যবস্থা গ্রহণ করা হয়। যন্ত্র দ্বারা প্রস্তুতকৃত ফিল্মটিতে ভাল জলীয় বাষ্প বাধা এবং ফুটন্ত পরীক্ষায় দীর্ঘস্থায়ী সময়কাল রয়েছে।
এই সরঞ্জামগুলি স্টেইনলেস স্টিল, ইলেক্ট্রোপ্লেটেড হার্ডওয়্যার/প্লাস্টিকের যন্ত্রাংশ, কাচ, সিরামিক এবং অন্যান্য উপকরণ যেমন ইলেকট্রনিক পণ্য, এলইডি লাইট পুঁতি, চিকিৎসা সরবরাহ এবং জারণ প্রতিরোধের প্রয়োজন এমন অন্যান্য পণ্যগুলিতে প্রয়োগ করা যেতে পারে। SiOx বাধা ফিল্মটি মূলত জলীয় বাষ্পকে কার্যকরভাবে ব্লক করতে, ক্ষয় এবং জারণ প্রতিরোধ করতে এবং পণ্যের জীবন উন্নত করতে প্রস্তুত।
| ঐচ্ছিক মডেল | ভেতরের চেম্বারের আকার |
| জেডএইচসিভিডি১২০০ | φ১২০০*H১৯৫০(মিমি) |