প্রতিক্রিয়াশীল ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং বলতে বোঝায় যে, প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস স্পুটারিং প্রক্রিয়ায় স্পুটারিং কণার সাথে বিক্রিয়া করে একটি যৌগিক ফিল্ম তৈরি করে। এটি একই সময়ে স্পুটারিং যৌগ লক্ষ্যের সাথে বিক্রিয়া করার জন্য প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস সরবরাহ করতে পারে এবং একই সময়ে স্পুটারিং ধাতু বা খাদ লক্ষ্যের সাথে বিক্রিয়া করার জন্য প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস সরবরাহ করতে পারে যাতে একটি নির্দিষ্ট রাসায়নিক অনুপাত সহ একটি যৌগিক ফিল্ম তৈরি করা যায়। যৌগিক ফিল্ম প্রস্তুত করার জন্য প্রতিক্রিয়াশীল ম্যাগনেট্রন স্পুটারিংয়ের বৈশিষ্ট্যগুলি হল:
(1) প্রতিক্রিয়াশীল ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং (একক উপাদান লক্ষ্য বা বহু-উপাদান লক্ষ্য) এবং প্রতিক্রিয়া গ্যাসের জন্য ব্যবহৃত লক্ষ্য উপকরণগুলি উচ্চ বিশুদ্ধতা অর্জন করা সহজ, যা উচ্চ-বিশুদ্ধতা যৌগিক ছায়াছবি তৈরির জন্য সহায়ক।
(২) প্রতিক্রিয়াশীল ম্যাগনেট্রন স্পুটারিংয়ে, জমা প্রক্রিয়ার পরামিতিগুলি সামঞ্জস্য করে, যৌগিক ফিল্মগুলির রাসায়নিক অনুপাত বা অ-রাসায়নিক অনুপাত প্রস্তুত করা যেতে পারে, যাতে ফিল্মের গঠন সামঞ্জস্য করে ফিল্মের বৈশিষ্ট্যগুলি নিয়ন্ত্রণের উদ্দেশ্য অর্জন করা যায়।
(৩) প্রতিক্রিয়াশীল ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং ডিপোজিশন প্রক্রিয়ার সময় সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা সাধারণত খুব বেশি থাকে না এবং ফিল্ম গঠনের প্রক্রিয়ার জন্য সাধারণত সাবস্ট্রেটকে খুব বেশি তাপমাত্রায় উত্তপ্ত করার প্রয়োজন হয় না, তাই সাবস্ট্রেট উপাদানের উপর কম বিধিনিষেধ থাকে।
(৪) রিঅ্যাকটিভ ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং বৃহৎ-ক্ষেত্রের সমজাতীয় পাতলা ফিল্ম তৈরির জন্য উপযুক্ত, এবং একটি একক মেশিন থেকে বার্ষিক এক মিলিয়ন বর্গমিটার আবরণের আউটপুট দিয়ে শিল্পায়িত উৎপাদন অর্জন করতে পারে। অনেক ক্ষেত্রে, স্পুটারিংয়ের সময় রিঅ্যাকটিভ গ্যাসের নিষ্ক্রিয় গ্যাসের অনুপাত পরিবর্তন করে ফিল্মের প্রকৃতি পরিবর্তন করা যেতে পারে। উদাহরণস্বরূপ, ফিল্মটি ধাতু থেকে সেমিকন্ডাক্টর বা অ-ধাতুতে পরিবর্তন করা যেতে পারে।
——এই প্রবন্ধে আছেভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া মুক্তি পেয়েছে
পোস্টের সময়: আগস্ট-৩১-২০২৩