Агляд тэхналогіі пакрыцця скразных адтулін для шкла TGV № 1
Пакрыццё праз адтуліны для шкла TGV — гэта новая тэхналогія мікраэлектроннай упакоўкі, якая прадугледжвае стварэнне скразных адтулін у шкляных падкладках і металізацыю іх унутраных сценак для дасягнення высокай шчыльнасці электрычных узаемасувязяў. У параўнанні з традыцыйнымі TSV (скразнымі крэмніевымі адтулінамі) і арганічнымі падкладкамі, шкло TGV прапануе такія перавагі, як нізкія страты сігналу, высокая празрыстасць і выдатная тэрмічная стабільнасць. Гэтыя ўласцівасці робяць TGV прыдатным для прымянення ў сувязі 5G, оптаэлектроннай упакоўцы, датчыках MEMS і г.д.
№ 2 Перспектывы рынку: Чаму TGV Glass прыцягвае ўвагу?
З хуткім развіццём высокачастотнай сувязі, оптаэлектроннай інтэграцыі і перадавых тэхналогій упакоўкі попыт на шкло для TGV пастаянна расце:
5G і сувязь міліметровага радыусу дзеяння: нізкія страты ў шкле TGV робяць яго ідэальным для высокачастотных радыёчастотных прылад, такіх як антэны і фільтры.
Оптаэлектронная ўпакоўка: высокая празрыстасць шкла з'яўляецца перавагай для такіх ужыванняў, як крэмніевая фатоніка і LiDAR.
Упакоўка датчыкаў MEMS: шкло TGV забяспечвае высокую шчыльнасць узаемасувязяў, паляпшаючы мініяцюрызацыю і прадукцыйнасць датчыкаў.
Пашыраная паўправадніковая ўпакоўка: з развіццём тэхналогіі чыплетаў, шкляныя падложкі TGV маюць значны патэнцыял у галіне ўпакоўкі высокай шчыльнасці.
№ 3 Падрабязны працэс пакрыцця шкла PVD для TGV
Металізацыя пакрыцця TGV Glass PVD прадугледжвае нанясенне праводзячых матэрыялаў на ўнутраныя сценкі пераходных адтулін для дасягнення электрычных злучэнняў. Тыповы працэс уключае ў сябе:
1. Фарміраванне скразных адтулін у шкле TGV: для стварэння пераходных адтулін TGV выкарыстоўваецца лазернае свідраванне (УФ/CO₂ лазеры), мокрае або сухое травленне, а затым іх ачыстка.
2. Апрацоўка паверхні: для паляпшэння адгезіі паміж шклом і пластом металізацыі ўжываецца плазменная або хімічная апрацоўка.
3. Нанясенне зародкавага пласта: PVD (фізічнае асаджэнне з паравой фазы) або CVD (хімічнае асаджэнне з паравой фазы) выкарыстоўваецца для нанясення металічнага зародкавага пласта (напрыклад, медзі, тытана/медзі, паладыю) на сценкі скразных адтулін у шкле.
4. Гальваніка: для дасягнення нізкасупраціўных узаемасувяз на пласт пачатковага элемента шляхам гальваніка наносіцца праводная медзь.
5. Пасля апрацоўкі: лішні метал выдаляецца, і для павышэння надзейнасці праводзіцца пасівацыя паверхні.
№ 4 Праблемы працэсу: праблемы машыны для нанясення глыбокіх адтулін на шкло TGV
Нягледзячы на шматабяцальныя перспектывы, машына для глыбокага пакрыцця шкла TGV сутыкаецца з некалькімі тэхнічнымі праблемамі:
1. Аднастайнасць пакрыцця глыбокіх адтулін у шкле TGV: глыбокія адтуліны ў шкле з высокім суадносінамі бакоў (ад 5:1 да 10:1) часта пакутуюць ад назапашвання металу ля ўваходу ў адтуліну і недастатковага запаўнення ўнізе.
2. Нанясенне пачатковага пласта: Шкло з'яўляецца ізалятарам, што ўскладняе нанясенне высакаякаснага праводзячага пачатковага пласта на сценкі пераходных адтулін.
3. Кантроль напружання: Розніца ў каэфіцыентах цеплавога пашырэння металу і шкла можа прывесці да дэфармацыі або расколін.
4. Адгезія слаёў пакрыцця глыбокіх адтулін са шкла: гладкая паверхня шкла прыводзіць да слабой адгезіі металу, што патрабуе аптымізаваных працэсаў апрацоўкі паверхні.
5. Масавая вытворчасць і кантроль выдаткаў: Павышэнне эфектыўнасці металізацыі і зніжэнне выдаткаў маюць вырашальнае значэнне для камерцыялізацыі тэхналогіі TGV.
№ 5 Абсталяванне для нанясення PVD-пакрыццяў для шкла TGV ад Zhenhua Vacuum — гарызантальная ўбудаваная ў лінію ўстаноўка для нанясення пакрыццяў
Перавагі абсталявання:
1. Эксклюзіўная тэхналогія металізацыі скразных адтулін у шкле
Запатэнтаваная кампаніяй Zhenhua Vacuum тэхналогія металізацыі скразных адтулін у шкле дазваляе апрацоўваць скразныя адтуліны ў шкле з суадносінамі бакоў да 10:1, нават для малюсенькіх адтулін памерам усяго 30 мікрон.
2. Наладжваецца для розных памераў
Падтрымлівае шкляныя падкладкі розных памераў, у тым ліку 600×600 мм, 510×515 мм і больш.
3. Гнуткасць працэсу
Сумяшчальны з праводзячымі або функцыянальнымі тонкаплёнкавымі матэрыяламі, такімі як Cu, Ti, W, Ni і Pt, што адпавядае разнастайным патрабаванням да праводнасці і каразійнай устойлівасці.
4. Стабільная прадукцыйнасць і лёгкае абслугоўванне
Абсталяваны інтэлектуальнай сістэмай кіравання для аўтаматычнай рэгулявання параметраў і маніторынгу аднастайнасці таўшчыні плёнкі ў рэжыме рэальнага часу. Модульная канструкцыя забяспечвае лёгкае абслугоўванне і скарачэнне часу прастою.
Сфера прымянення: Падыходзіць для ўдасканаленай упакоўкі TGV/TSV/TMV, дазваляе дасягнуць пакрыцця скразным адтулінай з суадносінамі глыбіні адтулін ≥ 10:1.
–Гэты артыкул апублікаваныВытворца машыны для нанясення пакрыццяў праз адтуліны на шкло TGVЧжэньхуа Вакуум
Час публікацыі: 07 сакавіка 2025 г.