تعتمد المعدات بشكل أساسي على الترسيب الكيميائي للبخار لتحضير غشاء أكسيدي، يتميز بسرعة الترسيب وجودة الغشاء العالية. أما هيكل المعدات، فيُستخدم هيكل الباب المزدوج لتحسين كفاءة التثبيت، كما يعتمد أحدث نظام إمداد بالغاز السائل لضمان تدفق مستقر وقابل للتحكم، وضمان استقرار العملية بفعالية. يتميز الغشاء المُحضر بواسطة المعدات بحاجز جيد لبخار الماء، وفترة ثبات أطول في اختبار الغليان.
يمكن استخدام هذه المعدات على الفولاذ المقاوم للصدأ، والأجزاء المعدنية/البلاستيكية المطلية كهربائيًا، والزجاج، والسيراميك، وغيرها من المواد، مثل المنتجات الإلكترونية، ومصابيح LED، والمستلزمات الطبية، وغيرها من المنتجات التي تتطلب مقاومة للأكسدة. صُممت طبقة حاجز SiOx بشكل أساسي لحجب بخار الماء بفعالية، ومنع التآكل والأكسدة، وإطالة عمر المنتج.
| نماذج اختيارية | حجم الغرفة الداخلية |
| ZHCVD1200 | φ1200*H1950(مم) |