الرش المغنطروني التفاعلي يعني توفير غاز تفاعلي للتفاعل مع الجسيمات المرشوشة أثناء عملية الرش لإنتاج غشاء مركب. يمكن توفير غاز تفاعلي للتفاعل مع هدف الرش المركب في الوقت نفسه، كما يمكن توفير غاز تفاعلي للتفاعل مع هدف الرش المعدني أو السبيكي في الوقت نفسه لتحضير غشاء مركب بنسبة كيميائية محددة. خصائص الرش المغنطروني التفاعلي لتحضير الأغشية المركبة هي:
(1) المواد المستهدفة المستخدمة في الرش المغناطيسي التفاعلي (هدف عنصر واحد أو هدف متعدد العناصر) والغازات التفاعلية من السهل الحصول على نقاء عالي منها، مما يساعد على تحضير أفلام مركبة عالية النقاء.
(2) في عملية الرش المغناطيسي التفاعلي، من خلال ضبط معلمات عملية الترسيب، يمكن إعداد النسبة الكيميائية أو النسبة غير الكيميائية للأغشية المركبة، وذلك لتحقيق الغرض من تنظيم خصائص الفيلم عن طريق ضبط تركيب الفيلم.
(3) لا تكون درجة حرارة الركيزة مرتفعة بشكل عام أثناء عملية ترسيب الرش المغناطيسي التفاعلي، وعادةً لا تتطلب عملية تشكيل الفيلم تسخين الركيزة إلى درجات حرارة عالية جدًا، وبالتالي تكون القيود المفروضة على مادة الركيزة أقل.
(4) يُعدّ الرش المغناطيسي التفاعلي مناسبًا لتحضير أغشية رقيقة متجانسة واسعة المساحة، ويمكنه تحقيق إنتاج صناعي بإنتاج سنوي يصل إلى مليون متر مربع من الطلاء باستخدام آلة واحدة. في كثير من الحالات، يمكن تغيير طبيعة الغشاء ببساطة عن طريق تغيير نسبة الغاز التفاعلي إلى الغاز الخامل أثناء الرش. على سبيل المثال، يمكن تحويل الغشاء من معدن إلى شبه موصل أو غير معدني.
——هذه المقالة تحتوي علىمُصنِّع آلات طلاء الفراغالافراج عن قوانغدونغ تشن هوا
وقت النشر: ٣١ أغسطس ٢٠٢٣