Ọrọ sisọ, CVD le pin ni aijọju si oriṣi meji: ọkan wa ninu ọja ẹyọkan lori ifasilẹ oru sobusitireti ti Layer epitaxial-orin, eyiti o jẹ CVD dín; ekeji ni ifisilẹ ti awọn fiimu tinrin lori sobusitireti, pẹlu ọja-ọja pupọ ati awọn fiimu amorphous. Gẹgẹbi awọn oriṣiriṣi oriṣiriṣi awọn gaasi orisun ti a lo, CVD le pin si ọna gbigbe halogen ati idasile eruku kemikali irin-Organic (MOCVD), iṣaaju si halide bi orisun gaasi, igbehin si awọn agbo ogun-irin-irin bi orisun gaasi. Ni ibamu si awọn titẹ ninu awọn lenu iyẹwu, o le ti wa ni pin si meta akọkọ orisi: atmospheric titẹ CVD (APCVD), kekere titẹ CVD (LPCVD) ati ultra-high vacuum CVD (UHV/CVD) .CVD le tun ti wa ni lo bi ohun agbara-igbelaruge iranlowo ọna, ati ki o lasiko awọn wọpọ eyi ni pilasima-imudara CVD-CVD. (PCVD), ati bẹbẹ lọ CVD jẹ pataki kan gaasi-alakoso iwadi oro ọna.
CVD jẹ pataki ọna ṣiṣe fiimu ninu eyiti ohun elo gaasi-ipele kan ti ṣe ifasilẹ kemikali ni iwọn otutu giga lati ṣe agbejade nkan ti o lagbara ti o wa ni ipamọ lori sobusitireti kan. Ni pataki, awọn halide irin ti o yipada tabi awọn agbo ogun Organic irin jẹ idapọ pẹlu gaasi ti ngbe bii H, Ar, tabi N, ati lẹhinna gbe lọ ni iṣọkan si sobusitireti iwọn otutu giga ni iyẹwu ifa lati ṣe fiimu tinrin lori sobusitireti nipasẹ iṣesi kemikali. Ko si iru iru CVD, ifisilẹ le ṣee ṣe ni aṣeyọri gbọdọ pade awọn ipo ipilẹ wọnyi: Ni akọkọ, ni iwọn otutu ti a fi silẹ, awọn oludasiṣẹ gbọdọ ni titẹ oru giga to to; Keji, awọn lenu ọja, ni afikun si awọn ti o fẹ idogo fun awọn ri to ipinle, awọn iyokù ti awọn gaseous ipinle; Kẹta, ohun idogo funrararẹ yẹ ki o jẹ titẹ oru kekere ti o to lati rii daju pe ilana ifasilẹ idogo le wa ni ipamọ ni gbogbo ilana ti sobusitireti kikan; Ẹkẹrin, ohun elo sobusitireti ti wa ni iṣọkan ni gbigbe si iyẹwu ifaseyin lori sobusitireti, nipasẹ iṣesi kemikali lati ṣe fiimu tinrin. Ẹkẹrin, titẹ oru ti ohun elo sobusitireti funrararẹ tun yẹ ki o jẹ kekere to ni iwọn otutu ifisilẹ.
-Nkan yii ti tu silẹ byigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: May-04-2024