Filamenti tungsten jẹ kikan si iwọn otutu ti o ga ti o nmu awọn elekitironi gbigbona jade lati ṣe itusilẹ ṣiṣan elekitironi iwuwo giga, ati ni akoko kanna ti ṣeto elekitirodu iyara lati mu awọn elekitironi gbona pọ si sinu ṣiṣan elekitironi agbara-giga. Ga-iwuwo, ga-agbara itanna sisan le jẹ diẹ chlorine ionization, diẹ irin film Layer awọn ọta ionized lati gba diẹ kiloraidi ions lati mu awọn sputtering oṣuwọn, nitorina jijẹ awọn iwadi oro oṣuwọn: le jẹ diẹ irin ionization lati mu awọn irin ionization oṣuwọn, conducive si awọn lenu ti awọn iwadi oro ti awọn yellow film; awọn ions Layer fiimu irin lati de ibi iṣẹ lati mu ilọsiwaju iwuwo lọwọlọwọ ti nkan iṣẹ, nitorinaa jijẹ oṣuwọn ifisilẹ.
Ni magnetron sputtering lile ti a bo, Alekun ni lọwọlọwọ iwuwo ati fiimu agbari ti awọn workpiece iwaju ati pada ti awọn gbona cathodizing. TiSiCN ṣaaju afikun ti cathode ti o gbona, iwuwo lọwọlọwọ lori iṣẹ-ṣiṣe jẹ 0.2mA / mm nikan, lẹhin ilosoke ninu cathode gbona si 4.9mA / mm2, eyiti o jẹ deede si ilosoke ti awọn akoko 24 tabi bẹ, ati pe agbari fiimu jẹ ipon diẹ sii. O le rii pe ni imọ-ẹrọ ti a bo sputtering magnetron, afikun ti cathode ti o gbona jẹ doko gidi ni imudarasi oṣuwọn ifisilẹ sputtering magnetron ati iṣẹ ti awọn patikulu fiimu. Imọ-ẹrọ yii le ṣe ilọsiwaju igbesi aye ti awọn abẹfẹlẹ tobaini, awọn ohun elo fifa ẹrẹ, ati awọn ẹya grinder.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹwa-11-2023