טיפּן פון CVD טעכנאָלאָגיע

ברייט גערעדט, קען מען גראָב צעטיילט CVD אין צוויי טיפן: איינס איז די איינציקע פּראָדוקט אויף דעם סאַבסטראַט פארע דעפּאַזישאַן פון איין-קריסטאַל עפּיטאַקסיאַל שיכט, וואָס איז שמאָל CVD; די אַנדערע איז די דעפּאַזישאַן פון דין פילמען אויף דעם סאַבסטראַט, אַרייַנגערעכנט מולטי-פּראָדוקט און אַמאָרפע פילמען. לויט די פאַרשידענע טיפן פון קוואל גאַזן געניצט, קען מען צעטיילט CVD אין האַלאָגען טראַנספּאָרט מעטאָד און מעטאַל-אָרגאַניק כעמיש פארע דעפּאַזישאַן (MOCVD), די ערשטע צו האַליד ווי אַ גאַז מקור, די צווייטע צו מעטאַל-אָרגאַניק קאַמפּאַונדז ווי אַ גאַז מקור. לויט דעם דרוק אין דער רעאַקציע קאַמער, קען מען עס צעטיילט אין דריי הויפּט טיפן: אַטמאָספעריש דרוק CVD (APCVD), נידעריק דרוק CVD (LPCVD) און אולטראַ-הויך וואַקוום CVD (UHV/CVD). CVD קען אויך געניצט ווערן ווי אַן ענערגיע-פאַרשטאַרקטע הילפס מעטאָד, און היינטצוטאָג זענען די געוויינטלעכע פּלאַזמע-פאַרשטאַרקטע CVD (PECVD) און ליכט-פאַרשטאַרקטע CVD (PCVD), עטק. CVD איז אין עסאַנס אַ גאַז-פאַסע דעפּאַזישאַן מעטאָד.

CVD איז אין עיקר א פילם-פארמענדיקע מעטאד אין וועלכער א גאז-פאזע סובסטאנץ ווערט כעמיש רעאגירט ביי הויכע טעמפעראטור צו פראדוצירן א הארטע סובסטאנץ וואס ווערט אפגעלייגט אויף א סובסטראט. ספעציפיש, ווערן וואלאטילע מעטאל האלידן אדער מעטאל ארגאנישע פארבינדונגען געמישט מיט א טרעגער גאז ווי H, Ar, אדער N, און דערנאך אייניג טראנספארטירט צו א הויך-טעמפעראטור סובסטראט אין א רעאקציע קאמער צו פארמירן א דין פילם אויף דעם סובסטראט דורך א כעמישע רעאקציע. נישט קיין חילוק וועלכע סארט CVD, א אפליי קען ווערן ערפאלגרייך דורכגעפירט, מוז ערפילן די פאלגנדע גרונט באדינגונגען: ערשטנס, אין דער אפליי טעמפעראטור, מוזן די רעאקטאנטן האבן א גענוג הויכן פארע דרוק; צווייטנס, דער רעאקציע פראדוקט, אין צוגאב צו דער געוואונטשענער אפליי פארן הארטן צושטאנד, די איבעריגע גאז-שטאנד; דריטנס, דער אפליי אליין זאל זיין גענוג נידעריג פארע דרוק צו פארזיכערן אז דער אפליי רעאקציע פראצעס קען ווערן געהאלטן אין דעם גאנצן פראצעס פון דעם געהייצטן סובסטראט; פערטנס, דער סובסטראט מאטעריאל ווערט אייניג טראנספארטירט צו דער רעאקציע קאמער אויף דעם סובסטראט, דורך דער כעמישע רעאקציע צו פארמירן א דין פילם. פערטנס, דער פארע דרוק פון דעם סובסטראט מאטעריאל אליין זאל אויך זיין נידעריג גענוג ביי דער אפליי טעמפעראטור.

–דער אַרטיקל איז פֿאַרעפֿנטלעכט געוואָרן byוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ