Nói chung, CVD có thể được chia thành hai loại: một là lắng đọng hơi sản phẩm đơn trên chất nền của lớp epitaxial đơn tinh thể, được gọi hẹp là CVD; loại còn lại là lắng đọng các màng mỏng trên chất nền, bao gồm màng đa sản phẩm và màng vô định hình. Theo các loại khí nguồn khác nhau được sử dụng, CVD có thể được chia thành phương pháp vận chuyển halogen và lắng đọng hơi hóa học kim loại hữu cơ (MOCVD), loại trước là halogenua làm nguồn khí, loại sau là hợp chất kim loại hữu cơ làm nguồn khí. Theo áp suất trong buồng phản ứng, có thể chia thành ba loại chính: CVD áp suất khí quyển (APCVD), CVD áp suất thấp (LPCVD) và CVD chân không cực cao (UHV / CVD). CVD cũng có thể được sử dụng như một phương pháp phụ trợ tăng cường năng lượng và hiện nay các phương pháp phổ biến bao gồm CVD tăng cường plasma (PECVD) và CVD tăng cường ánh sáng (PCVD), v.v. CVD về cơ bản là phương pháp lắng đọng pha khí.
CVD về cơ bản là phương pháp tạo màng trong đó một chất ở pha khí phản ứng hóa học ở nhiệt độ cao để tạo ra chất rắn được lắng đọng trên chất nền. Cụ thể, các halide kim loại dễ bay hơi hoặc hợp chất hữu cơ kim loại được trộn với khí mang như H, Ar hoặc N, sau đó được vận chuyển đồng đều đến chất nền có nhiệt độ cao trong buồng phản ứng để tạo thành màng mỏng trên chất nền thông qua phản ứng hóa học. Bất kể loại CVD nào, quá trình lắng đọng có thể được thực hiện thành công phải đáp ứng các điều kiện cơ bản sau: Thứ nhất, ở nhiệt độ lắng đọng, các chất phản ứng phải có áp suất hơi đủ cao; Thứ hai, sản phẩm phản ứng, ngoài chất lắng đọng mong muốn ở trạng thái rắn, phần còn lại của trạng thái khí; Thứ ba, bản thân chất lắng đọng phải có áp suất hơi đủ thấp để đảm bảo rằng quá trình phản ứng lắng đọng có thể được duy trì trong toàn bộ quá trình của chất nền được gia nhiệt; Thứ tư, vật liệu chất nền được vận chuyển đồng đều đến buồng phản ứng trên chất nền, thông qua phản ứng hóa học để tạo thành màng mỏng. Thứ tư, áp suất hơi của bản thân vật liệu chất nền cũng phải đủ thấp ở nhiệt độ lắng đọng.
– Bài viết này được phát hành bynhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 04-05-2024