Sợi vonfram được nung nóng đến nhiệt độ cao phát ra các electron nóng để phát ra luồng electron mật độ cao, đồng thời một điện cực tăng tốc được thiết lập để tăng tốc các electron nóng thành luồng electron năng lượng cao. Luồng electron mật độ cao, năng lượng cao có thể ion hóa clo nhiều hơn, nhiều nguyên tử lớp màng kim loại bị ion hóa để thu được nhiều ion clorua hơn để cải thiện tốc độ phun, do đó tăng tốc độ lắng đọng: có thể ion hóa kim loại nhiều hơn để cải thiện tốc độ ion hóa kim loại, có lợi cho phản ứng lắng đọng của màng hợp chất; các ion lớp màng kim loại để tiếp cận phôi để cải thiện mật độ dòng điện của phôi, do đó tăng tốc độ lắng đọng.
Trong lớp phủ cứng phun magnetron, mật độ dòng điện và tổ chức màng của mặt trước và mặt sau của catốt hóa nóng tăng lên. TiSiCN trước khi thêm catốt nóng, mật độ dòng điện trên phôi chỉ là 0,2mA/mm2, sau khi tăng catốt nóng lên 4,9mA/mm2, tương đương với mức tăng khoảng 24 lần và tổ chức màng dày đặc hơn. Có thể thấy rằng trong công nghệ phủ phun magnetron, việc thêm catốt nóng rất hiệu quả trong việc cải thiện tốc độ lắng đọng phun magnetron và hoạt động của các hạt màng. Công nghệ này có thể cải thiện đáng kể tuổi thọ của cánh tuabin, pít tông bơm bùn và các bộ phận máy nghiền.
– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 11-10-2023