Keng ma'noda, CVD taxminan ikki turga bo'linishi mumkin: biri tor CVD bo'lgan bir kristalli epitaksial qatlamning substrat bug 'cho'kmasi bo'yicha yagona mahsulotda; ikkinchisi - ko'p mahsulotli va amorf plyonkalarni o'z ichiga olgan substratda yupqa plyonkalarning cho'kishi. Amaldagi manba gazlarining har xil turlariga ko'ra, CVD halogen tashish usuliga va metall-organik kimyoviy bug'larni cho'ktirishga (MOCVD), birinchisi gaz manbai sifatida halidga, ikkinchisi gaz manbai sifatida metall-organik birikmalarga bo'linishi mumkin. Reaktsiya kamerasidagi bosimga ko'ra, uni uchta asosiy turga bo'lish mumkin: atmosfera bosimi CVD (APCVD), past bosimli CVD (LPCVD) va ultra yuqori vakuumli CVD (UHV / CVD). CVD, shuningdek, energiyani kuchaytiruvchi yordamchi usul sifatida ham ishlatilishi mumkin va hozirgi kunda keng tarqalgan yorug'lik (ECVD) va PDVDs. CVD (PCVD) va boshqalar. CVD mohiyatan gaz fazali yotqizish usuli hisoblanadi.
CVD asosan plyonka hosil qiluvchi usul bo'lib, unda gaz fazali modda yuqori haroratda kimyoviy reaksiyaga kirishib, substratga yotqizilgan qattiq moddani hosil qiladi. Xususan, uchuvchi metall galogenidlari yoki metall organik birikmalari H, Ar yoki N kabi tashuvchi gaz bilan aralashtiriladi va keyin kimyoviy reaksiya orqali substratda yupqa plyonka hosil qilish uchun reaksiya kamerasida yuqori haroratli substratga bir xilda tashiladi. Qaysi turdagi CVD bo'lishidan qat'i nazar, cho'kma muvaffaqiyatli amalga oshirilishi mumkin bo'lgan quyidagi asosiy shartlarga javob berishi kerak: Birinchidan, cho'kma haroratida reaktivlar etarlicha yuqori bug' bosimiga ega bo'lishi kerak; Ikkinchidan, reaksiya mahsuloti, qattiq holat uchun kerakli kondan tashqari, qolgan gaz holati; Uchinchidan, cho'kindining o'zi etarli darajada past bo'lishi kerak bug 'bosimi cho'kma reaktsiyasi jarayoni isitiladigan substratning butun jarayonida saqlanishini ta'minlash; To'rtinchidan, substrat materiali nozik bir plyonka hosil qilish uchun kimyoviy reaktsiya orqali substratdagi reaktsiya kamerasiga bir xilda ko'chiriladi. To'rtinchidan, taglik materialining bug 'bosimi ham cho'kma haroratida etarlicha past bo'lishi kerak.
- Ushbu maqola e'lon qilindi byvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Xabar berish vaqti: 2024 yil 04-may