سی وی ڈی ٹیکنالوجی کی اقسام

موٹے طور پر، CVD کو تقریباً دو قسموں میں تقسیم کیا جا سکتا ہے: ایک سنگل کرسٹل ایپیٹیکسیل پرت کے سبسٹریٹ بخارات کے جمع ہونے پر واحد پروڈکٹ میں ہے، جو کہ مختصر طور پر CVD ہے۔ دوسرا سبسٹریٹ پر پتلی فلموں کا جمع ہونا ہے، جس میں ملٹی پروڈکٹ اور بے ساختہ فلمیں شامل ہیں۔ استعمال شدہ ماخذ گیسوں کی مختلف اقسام کے مطابق، CVD کو ہالوجن ٹرانسپورٹ کے طریقہ کار اور دھاتی-نامیاتی کیمیائی بخارات جمع کرنے (MOCVD) میں تقسیم کیا جا سکتا ہے، پہلے گیس کے منبع کے طور پر halide، بعد میں دھاتی نامیاتی مرکبات کو گیس کے ذریعہ کے طور پر تقسیم کیا جا سکتا ہے۔ رد عمل کے چیمبر میں دباؤ کے مطابق، اسے تین اہم اقسام میں تقسیم کیا جا سکتا ہے: وایمنڈلیی پریشر CVD (APCVD)، کم پریشر CVD (LPCVD) اور انتہائی ہائی ویکیوم CVD (UHV/CVD)۔ CVD کو توانائی سے بڑھے ہوئے معاون طریقہ کے طور پر بھی استعمال کیا جا سکتا ہے، اور آج کل عام طور پر ایک CVD شامل ہے۔ (PECVD) اور روشنی سے بڑھا ہوا CVD (PCVD) وغیرہ۔ CVD بنیادی طور پر گیس فیز جمع کرنے کا طریقہ ہے۔

CVD بنیادی طور پر فلم بنانے کا ایک طریقہ ہے جس میں گیس فیز مادہ کیمیاوی طور پر اعلی درجہ حرارت پر رد عمل ظاہر کر کے ٹھوس مادہ تیار کیا جاتا ہے جو سبسٹریٹ پر جمع ہوتا ہے۔ خاص طور پر، اتار چڑھاؤ والے دھاتی ہالائیڈز یا دھاتی نامیاتی مرکبات کو کیریئر گیس جیسے H، Ar، یا N کے ساتھ ملایا جاتا ہے، اور پھر یکساں طور پر ایک اعلی درجہ حرارت والے سبسٹریٹ کو ری ایکشن چیمبر میں لے جایا جاتا ہے تاکہ ایک کیمیائی عمل کے ذریعے سبسٹریٹ پر ایک پتلی فلم بن سکے۔ اس بات سے کوئی فرق نہیں پڑتا ہے کہ کس قسم کی CVD، جمع کو کامیابی کے ساتھ انجام دیا جا سکتا ہے درج ذیل بنیادی شرائط کو پورا کرنا ضروری ہے: سب سے پہلے، جمع کرنے والے درجہ حرارت میں، ری ایکٹنٹس کو کافی زیادہ بخارات کا دباؤ ہونا چاہیے؛ دوسرا، رد عمل کی مصنوعات، ٹھوس حالت کے لیے مطلوبہ جمع کے علاوہ، باقی گیسی حالت؛ تیسرا، ڈپازٹ خود کو کافی کم بخارات کا دباؤ ہونا چاہئے تاکہ یہ یقینی بنایا جا سکے کہ جمع کرنے کے رد عمل کو گرم سبسٹریٹ کے پورے عمل میں رکھا جا سکتا ہے۔ چوتھا، سبسٹریٹ مواد کو یکساں طور پر سبسٹریٹ پر رد عمل کے چیمبر میں لے جایا جاتا ہے، ایک پتلی فلم بنانے کے لیے کیمیائی رد عمل کے ذریعے۔ چوتھا، سبسٹریٹ مواد کا بخارات کا دباؤ بھی جمع ہونے والے درجہ حرارت پر کافی کم ہونا چاہیے۔

-یہ مضمون جاری کیا گیا ہے۔ byویکیوم کوٹنگ مشین بنانے والاگوانگ ڈونگ زینہوا