Вольфрамова нитка нагрівається до високої температури, що випромінює гарячі електрони, що створює потік електронів високої щільності, і одночасно встановлюється прискорювальний електрод для прискорення гарячих електронів у потік електронних струмів високої енергії. Потік електронних струмів високої щільності та високої енергії може призвести до більшої іонізації хлору, більшої кількості атомів шару металевої плівки, що призводить до отримання більшої кількості іонів хлориду, що покращує швидкість розпилення, тим самим збільшуючи швидкість осадження; може бути більша іонізація металу для покращення швидкості іонізації металу, що сприяє реакції осадження складної плівки; іони шару металевої плівки досягають заготовки для покращення щільності струму в заготовці, тим самим збільшуючи швидкість осадження.
При нанесенні твердого покриття магнетронним напиленням збільшується щільність струму та організація плівки на передній та задній сторонах заготовки в процесі гарячого катодування. До додавання гарячого катода щільність струму TiSiCN на заготовку становить лише 0,2 мА/мм2, а після збільшення гарячого катода до 4,9 мА/мм2, що еквівалентно збільшенню приблизно в 24 рази, а організація плівки стає більш щільною. Можна побачити, що в технології магнетронного напилення додавання гарячого катода дуже ефективно покращує швидкість магнетронного напилення та активність частинок плівки. Ця технологія може значно покращити термін служби лопаток турбін, плунжерів бурових насосів та деталей шліфувальних машин.
–Цю статтю опубліковановиробник вакуумних машин для покриттяГуандун Чженьхуа
Час публікації: 11 жовтня 2023 р.