CVD تېخنىكىسىنىڭ تۈرلىرى

كەڭ مەنىدىن ئېيتقاندا ، CVD نى ئاساسەن ئىككى خىلغا بۆلۈشكە بولىدۇ: بىرى يەككە كىرىستال ئېپتاكسىمان قەۋىتىنىڭ يەر ئاستى ھور چۆكمىسىدىكى يەككە مەھسۇلاتتا ، تار CVD بولىدۇ. يەنە بىرى ، كۆپ خىل مەھسۇلات ۋە ئامورفوسلىق كىنولارنى ئۆز ئىچىگە ئالغان نېپىز پەردىلەرنىڭ ئاستىغا قويۇلۇشى. ئىشلىتىلىدىغان ئوخشىمىغان تىپتىكى گازلارغا ئاساسەن ، CVD نى گالوگېن توشۇش ئۇسۇلى ۋە مېتال ئورگانىك خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى (MOCVD) دەپ ئىككىگە بۆلۈشكە بولىدۇ ، ئالدىنقىسى تەبىئىي گاز سۈپىتىدە توختاپ قالىدۇ ، كېيىنكىسى مېتال ئورگانىك بىرىكمىلەرنى گاز مەنبەسى قىلىدۇ. رېئاكسىيە ئۆيىدىكى بېسىمغا ئاساسەن ، ئۇنى ئاتموسفېرا بېسىمى CVD (APCVD) ، تۆۋەن بېسىملىق CVD (LPCVD) ۋە دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى ۋاكۇئۇم CVD (UHV / CVD) دىن ئىبارەت ئۈچ چوڭ تۈرگە ئايرىشقا بولىدۇ.

CVD ماھىيەتتە بىر خىل شەكىل ھاسىل قىلىش ئۇسۇلى بولۇپ ، گاز باسقۇچىدىكى ماددا يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا خىمىيىلىك رېئاكسىيە قىلىنىپ ، يەر ئاستىغا قويۇلغان قاتتىق ماددىنى ھاسىل قىلىدۇ. كونكېرت قىلىپ ئېيتقاندا ، ئۆزگىرىشچان مېتال يېرىم ياكى مېتال ئورگانىك بىرىكمىلەر H ، Ar ياكى N قاتارلىق توشۇغۇچى گازى بىلەن ئارىلاشتۇرۇلۇپ ، ئاندىن رېئاكسىيە ئۆيىدىكى يۇقىرى تېمپېراتۇرا ئاستى قىسمىغا بىر تۇتاش يەتكۈزۈلۈپ ، خىمىيىلىك رېئاكسىيە ئارقىلىق يەر ئاستى قەۋىتىدە نېپىز پەردە ھاسىل بولىدۇ. مەيلى قايسى خىل CVD بولۇشىدىن قەتئىينەزەر ، چۆكۈشنى مۇۋەپپەقىيەتلىك ھالدا ئېلىپ بارغىلى بولىدۇ ، چوقۇم تۆۋەندىكى ئاساسىي شەرتلەرنى ھازىرلىشى كېرەك: بىرىنچى ، چۆكمە تېمپېراتۇرىسىدا ، رېئاكتورلار چوقۇم يېتەرلىك يۇقىرى ھور بېسىمىغا ئىگە بولۇشى كېرەك. ئىككىنچىدىن ، رېئاكسىيە مەھسۇلاتى ، قاتتىق ھالەتتىكى كېرەكلىك ئامانەتتىن باشقا ، قالغان گاز ھالىتى. ئۈچىنچىسى ، ئامانەتنىڭ ئۆزى يېتەرلىك تۆۋەن ھور بېسىمى بولۇشى كېرەك ، چۆكمە رېئاكسىيە جەريانىنىڭ قىزىتىلغان تارماقنىڭ پۈتكۈل جەريانىنى ساقلىشىغا كاپالەتلىك قىلىش كېرەك. تۆتىنچى ، ئاستىرتتىن ياسالغان ماتېرىيال خىمىيىلىك رېئاكسىيە ئارقىلىق يەر ئاستى پوستلاق قەۋىتىدىكى رېئاكسىيە ئۆيىگە بىردەك توشۇلۇپ ، نېپىز پەردە ھاسىل قىلىدۇ. تۆتىنچى ، يەر ئاستى ماتېرىيالىنىڭ ھور بېسىمىمۇ چۆكمە تېمپېراتۇرىسىدا يېتەرلىك تۆۋەن بولۇشى كېرەك.

–بۇ ماقالە ئېلان قىلىندى byۋاكۇئۇم سىرلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا