Вольфрам филаменты югары тыгызлыкта җылытыла, ул югары тыгызлыктагы электрон агым чыгару өчен кайнар электроннар чыгара, һәм шул ук вакытта тизләнүче электрод кайнар электроннарны югары энергияле электрон агымына тизләтергә тиеш. Highгары тыгызлыклы, югары энергияле электрон агым күбрәк хлор ионизациясе булырга мөмкин, металл пленка катламы атомнары ионлаштырылган булырга мөмкин, шуышу тизлеген яхшырта, шуның белән чүпләү тизлеген арттыра: металл ионлаштыру темпын яхшырту өчен металл ионлаштыру булырга мөмкин, катнаш фильмның реакциясенә ярдәм итә; металл пленка катламы ионнары эш кисәгенең хәзерге тыгызлыгын яхшырту өчен, шулай итеп чүпләү тизлеген арттыралар.
Магнитрон каты каплауда, хәзерге тыгызлыкның артуы һәм кайнар катодизациянең алгы һәм арткы өлешенең кино оешмасы. TiSiCN кайнар катод кушылганчы, эш кисәгендәге хәзерге тыгызлык бары тик 0,2МА / мм, кайнар катод 4,9mA / mm2 артканнан соң, бу 24 тапкыр артуга тиң, һәм кино оешмасы тыгызрак. Моннан күренгәнчә, магнитрон чәчү каплау технологиясендә кайнар катод кушылу магнитронның таралу тизлеген һәм кино кисәкчәләренең активлыгын яхшыртуда бик эффектив. Бу технология турбина плиталарының, пычрак насос плунгерларының һәм тарткыч өлешләренең тормышын сизелерлек яхшырта ала.
IsБу мәкалә бастырылганвакуум каплау машинасы җитештерүчеГуандун Чжэнхуа
Пост вакыты: 11-2023 октябрь