Tungsten filament, yüksek yoğunluklu bir elektron akışı yaymak için sıcak elektronlar yayan yüksek bir sıcaklığa ısıtılır ve aynı zamanda sıcak elektronları yüksek enerjili bir elektron akışına hızlandırmak için bir hızlandırıcı elektrot ayarlanır. Yüksek yoğunluklu, yüksek enerjili elektron akışı daha fazla klor iyonizasyonu, daha fazla metal film tabakası atomu iyonize edilerek daha fazla klorür iyonu elde edilerek püskürtme oranını iyileştirebilir, böylece biriktirme oranını artırabilir: metal iyonizasyon oranını iyileştirmek için daha fazla metal iyonizasyonu olabilir, bileşik filmin biriktirme reaksiyonuna elverişlidir; metal film tabakası iyonlarının iş parçasına ulaşması, iş parçasının akım yoğunluğunu iyileştirerek biriktirme oranını artırabilir.
Magnetron püskürtme sert kaplamada, sıcak katotlamanın ön ve arka tarafındaki iş parçasının akım yoğunluğunda ve film organizasyonunda artış. Sıcak katot eklenmeden önce TiSiCN, iş parçasındaki akım yoğunluğu sadece 0,2mA/mm'dir, sıcak katottaki artıştan sonra 4,9mA/mm2'ye çıkar, bu da yaklaşık 24 katlık bir artışa eşdeğerdir ve film organizasyonu daha yoğundur. Magnetron püskürtme kaplama teknolojisinde, sıcak katot eklenmesinin magnetron püskürtme biriktirme oranını ve film parçacıklarının aktivitesini iyileştirmede çok etkili olduğu görülebilir. Bu teknoloji, türbin kanatlarının, çamur pompası pistonlarının ve öğütücü parçalarının ömrünü önemli ölçüde artırabilir.
–Bu makale tarafından yayınlanmıştırvakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Gönderi zamanı: 11-Eki-2023