Aslynda, Ion şöhlesi arkaly ýerleşdirmek tehnologiýasy kompozit tehnologiýadyr. Ol ion implantasiýasyny we fiziki bug çökündi plýonka tehnologiýasyny birleşdirýän kompozit ýüz ion işläp bejermek usuly we ion şöhlesi arkaly ýüz optimizasiýa usulynyň täze görnüşidir. Fiziki bug çökündisiniň artykmaçlyklaryndan başga-da, bu usul has berk gözegçilik şertlerinde islendik galyňlyk plýonkany yzygiderli ösdürip bilýär, plýonka gatlagynyň kristallygyny we ugruny has ep-esli gowulandyryp bilýär, plýonka gatlagynyň/substratynyň ýelmeşme güýjüni artdyryp bilýär, plýonka gatlagynyň dykyzlygyny gowulandyryp bilýär we otagyň temperaturasynda we basyşynda alyp bolmaýan täze görnüşli plýonkalary goşmak bilen, otagyň temperaturasynda ideal stehiometrik gatnaşyklara eýe bolan birleşme plýonkalaryny sintezläp bilýär. Ion şöhlesi arkaly ýerleşdirmek diňe bir ion implantasiýa prosesiniň artykmaçlyklaryny saklamak bilen çäklenmän, eýsem substraty substratdan düýbünden başga plýonka bilen hem örtüp bilýär.
Fiziki bug çökündileriniň we himiki bug çökündileriniň ähli görnüşlerinde, IBAD ulgamyny döretmek üçin kömekçi bombardman ion toplarynyň toplumy goşulyp bilner we suratda görkezilişi ýaly, aşakdaky ýaly iki umumy IBAD prosesi bar:
Suratda (a) görkezilişi ýaly, ion tüpeňinden çykýan ion şöhlesi bilen plýonka gatlagyny şöhlelendirmek üçin elektron şöhlesiniň buharlanma çeşmesi ulanylýar we şeýdip ion şöhlesiniň kömegi bilen çökdürilmegi amala aşyrylýar. Munuň artykmaçlygy, ion şöhlesiniň energiýasyny we ugruny sazlap bolýar, ýöne buharlanma çeşmesi hökmünde diňe bir ýa-da çäkli ergin ýa-da birleşme ulanylyp bilner we ergin böleginiň we birleşmesiniň her bir buhar basyşy dürli bolýar, bu bolsa asyl buharlanma çeşmesiniň düzüminiň plýonka gatlagyny almagy kynlaşdyrýar.
Surat (b) ion şöhlesiniň püskürtme kömegi bilen çökdürilmegini görkezýär, ol iki ion şöhlesiniň püskürtme çökdürilmegi hökmünde hem bellidir, onda nyşana ion şöhlesiniň püskürtme örtük materialyndan ýasalanda, püskürtme önümleri çeşme hökmünde ulanylýar. Ony substrata ýerleşdirende, ion şöhlesiniň püskürtme kömegi bilen çökdürilmegi başga bir ion çeşmesi bilen şöhlelendirmek arkaly amala aşyrylýar. Bu usulyň artykmaçlygy, püskürtme bölejikleriniň özleriniň belli bir energiýa eýe bolmagydyr, şonuň üçin substrat bilen has gowy ýapyşýar; nyşanyň islendik bölegi püskürtme örtügi bolup biler, şeýle hem plýonka reaksiýa püskürtmesi bolup biler, plýonkanyň düzümini sazlamak aňsat, ýöne onuň çökdürme netijeliligi pes, nyşana gymmat we selektiw püskürtme ýaly meseleler bar.
Ýerleşdirilen wagty: 2022-nji ýylyň 8-nji noýabry