Ha e le hantle, theknoloji ea ho kenya ion ka lehlasedi la Ion ke theknoloji e kopaneng. Ke mokhoa oa kalafo ea ion ea bokaholimo bo kopaneng o kopanyang theknoloji ea ho kenya ion le filimi ea ho kenya mouoane ka 'mele, le mofuta o mocha oa mokhoa oa ho ntlafatsa bokaholimo ba ion. Ntle le melemo ea ho kenya ion ka lehlasedi la 'mele, mokhoa ona o ka holisa filimi efe kapa efe ea botenya tlas'a maemo a thata a taolo, oa ntlafatsa kristale le tataiso ea lehlasedi la filimi haholo, oa eketsa matla a ho khomarela a lehlasedi la filimi/substrate, oa ntlafatsa ho teteana ha lehlasedi la filimi, le ho kopanya lifilimi tse kopaneng ka litekanyo tse ntle tsa stoichiometric mochesong o haufi le kamore, ho kenyeletsoa mefuta e mecha ea lifilimi tse ke keng tsa fumanoa mochesong oa kamore le khatello. Ho kenya ion ka lehlasedi la Ion ha ho boloke feela melemo ea ts'ebetso ea ho kenya ion, empa ho ka boela ha koahela substrate ka filimi e fapaneng ka ho feletseng le substrate.
Mefuteng eohle ea ho kenngoa ha mouoane oa 'mele le ho kenngoa ha mouoane oa lik'hemik'hale, sete ea lithunya tsa ion tse thusang libomo li ka eketsoa ho theha sistimi ea IBAD, 'me ho na le lits'ebetso tse peli tse akaretsang tsa IBAD ka tsela e latelang, joalo ka ha ho bontšitsoe ho Setšoantšo:
Jwalo ka ha ho bontshitswe ho Pic (a), mohlodi wa mouoane wa lehlasedi la elektrone o sebedisetswa ho bonesa lera la filimi ka lehlasedi la ion le ntshitsweng sethunyeng sa ion, ka hona ho etsa hore lehlasedi la ion le thuswe ke ho bewa. Molemo ke hore matla le tataiso ya lehlasedi la ion di ka fetolwa, empa ke motswako o le mong kapa o fokolang feela, kapa motsoako o ka sebediswang e le mohlodi wa mouoane, mme kgatello ka nngwe ya mouoane ya karolo ya motswako le motsoako e fapane, e leng se etsang hore ho be thata ho fumana lehlasedi la filimi la motswako wa mohlodi wa mouoane wa pele.
Setshwantsho (b) se bontsha ho beoa ha ion beam sputtering-assisted deposition, e tsejoang hape e le ho beoa ha double ion beam sputtering deposition, moo sepheo se entsweng ka thepa ya ho beoa ha ion beam sputtering, dihlahiswa tsa sputtering di sebediswa e le mohlodi. Ha o ntse o e beha hodima substrate, ho beoa ha ion beam sputtering assistant deposition ho fihlellwa ka ho bonesa ka mohlodi o mong wa ion. Molemo wa mokgwa ona ke hore dikarolwana tse sputtered ka botsona di na le matla a itseng, kahoo ho na le ho kgomarela ho betere le substrate; karolo efe kapa efe ya sepheo e ka ba ho beoa ha sputtered, empa hape e ka ba ho beoa ha karabelo filiming, ho bonolo ho lokisa sebopeho sa filimi, empa bokgoni ba yona ba ho beoa bo tlase, sepheo se theko e boima mme ho na le mathata a kang ho beoa ha sputtering ka ho kgetha.
Nako ea poso: Pulungoana-08-2022