Ion tan ina ṣe iranlọwọ imọ-ẹrọ ifisilẹ

Ni otitọ, imọ-ẹrọ ifisilẹ iranlọwọ Ion tan ina jẹ imọ-ẹrọ akojọpọ.O jẹ ilana itọju ion dada idapọpọ apapọ ion gbingbin ati imọ-ẹrọ fiimu ifisilẹ oru ti ara, ati iru tuntun ti ilana imudara dada ion beam.Ni afikun si awọn anfani ti ifasilẹ eefin ti ara, ilana yii le tẹsiwaju nigbagbogbo dagba eyikeyi fiimu sisanra labẹ awọn ipo iṣakoso okun diẹ sii, mu ilọsiwaju crystallinity ati iṣalaye ti Layer fiimu ni pataki diẹ sii, mu agbara ifaramọ ti Layer / sobusitireti fiimu, mu iwuwo pọ si. ti Layer fiimu, ati synthesize awọn fiimu agbopọ pẹlu awọn iwọn stoichiometric to dara julọ ni iwọn otutu yara, pẹlu awọn iru fiimu tuntun ti a ko le gba ni iwọn otutu yara ati titẹ.Ifisilẹ iranlọwọ Ion beam kii ṣe idaduro awọn anfani ti ilana gbingbin ion nikan, ṣugbọn tun le bo sobusitireti pẹlu fiimu ti o yatọ patapata lati sobusitireti.
Ninu gbogbo iru isọkusọ oru ti ara ati isunmọ ọru kẹmika, ṣeto ti awọn ibon ion bombardment iranlọwọ ni a le ṣafikun lati ṣe agbekalẹ eto IBAD kan, ati pe awọn ilana IBAD gbogbogbo meji wa gẹgẹbi atẹle yii, bi o ṣe han ninu Pic:

Gẹgẹbi a ṣe han ni Pic (a), orisun evaporation elekitironi ni a lo lati ṣe itanna Layer fiimu naa pẹlu ina ion ti o jade lati inu ibon ion, nitorina ni imọran ifisilẹ iranlọwọ ion tan ina.Awọn anfani ni pe agbara ion beam agbara ati itọsọna le ṣe atunṣe, ṣugbọn nikan kan tabi alloy lopin, tabi yellow le ṣee lo bi orisun evaporation, ati titẹ ọru kọọkan ti paati alloy ati yellow yato, eyiti o jẹ ki o ṣoro. lati gba Layer fiimu ti akopọ orisun evaporation atilẹba.
Pic (b) ṣe afihan ifitonileti ion beam sputtering-iranlọwọ, eyiti a tun mọ ni ilọpo meji ion beam sputtering deposition, ninu eyiti ibi-afẹde ti a ṣe ti ion beam sputtering ohun elo, awọn ọja sputtering ti lo bi orisun.Lakoko fifisilẹ sori sobusitireti, ion beam sputtering ifisilẹ iranlọwọ jẹ aṣeyọri nipasẹ itanna pẹlu orisun ion miiran.Anfani ti ọna yii ni pe awọn patikulu sputtered funrararẹ ni agbara kan, nitorinaa ifaramọ dara julọ pẹlu sobusitireti;eyikeyi paati ti ibi-afẹde le jẹ ti a bo sputtered, ṣugbọn tun le jẹ itusilẹ ifura sinu fiimu naa, rọrun lati ṣatunṣe akopọ ti fiimu naa, ṣugbọn ṣiṣe ifisilẹ rẹ jẹ kekere, ibi-afẹde naa jẹ gbowolori ati pe awọn iṣoro wa bii sputtering yiyan.