Teknologjia e depozitimit të asistuar me rreze jonike

Në fakt, teknologjia e depozitimit të asistuar me rreze joni është një teknologji e përbërë.Është një teknikë e përbërë e trajtimit të joneve sipërfaqësore që kombinon implantimin e joneve dhe teknologjinë e filmit të depozitimit fizik të avullit, dhe një lloj të ri të teknikës së optimizimit të sipërfaqes së rrezeve jonike.Përveç avantazheve të depozitimit fizik të avullit, kjo teknikë mund të rrisë vazhdimisht çdo shtresë trashësie në kushte më të rrepta kontrolli, të përmirësojë kristalinitetin dhe orientimin e shtresës së filmit në mënyrë më të konsiderueshme, të rrisë forcën ngjitëse të shtresës/substratit të filmit, të përmirësojë densitetin. të shtresës së filmit dhe sintetizoni filma të përbërë me raporte ideale stekiometrike në temperaturën afër dhomës, duke përfshirë lloje të reja filmash që nuk mund të merren në temperaturën dhe presionin e dhomës.Depozitimi i asistuar me rreze jonike jo vetëm që ruan avantazhet e procesit të implantimit të joneve, por gjithashtu mund të mbulojë substratin me një film krejtësisht të ndryshëm nga nënshtresa.
Në të gjitha llojet e depozitimit fizik të avullit dhe depozitimit kimik të avullit, një grup armësh jonike bombarduese mund të shtohen për të formuar një sistem IBAD, dhe ekzistojnë dy procese të përgjithshme IBAD si më poshtë, siç tregohet në foto:

Siç tregohet në figurën (a), një burim avullimi i rrezeve elektronike përdoret për të rrezatuar shtresën e filmit me rreze jonike të emetuar nga arma jonike, duke realizuar kështu depozitimin e asistuar të rrezes jonike.Avantazhi është se energjia dhe drejtimi i rrezes jonike mund të rregullohen, por vetëm një aliazh ose përbërës i vetëm ose i kufizuar mund të përdoret si burim avullimi, dhe çdo presion avulli i përbërësit dhe përbërjes së aliazhit është i ndryshëm, gjë që e bën të vështirë. për të marrë shtresën filmike të përbërjes origjinale të burimit të avullimit.
Figura (b) tregon depozitimin e asistuar nga spërkatja me rreze jonike, e cila njihet edhe si depozitimi i spërkatjes me rreze jonike të dyfishtë, në të cilën objektivi i bërë nga materiali i veshjes me spërkatje me rreze jonike, produktet e spërkatjes përdoret si burim.Gjatë depozitimit të tij në nënshtresë, depozitimi i asistuar nga spërkatja me rreze jonike arrihet nga rrezatimi me një burim tjetër joni.Avantazhi i kësaj metode është se vetë grimcat e spërkatura kanë një energji të caktuar, kështu që ka ngjitje më të mirë me nënshtresën;çdo komponent i objektivit mund të spërkatet me veshje, por gjithashtu mund të jetë spërkatje e reaksionit në film, lehtësisht rregullimi i përbërjes së filmit, por efikasiteti i tij i depozitimit është i ulët, objektivi është i shtrenjtë dhe ka probleme të tilla si spërkatja selektive.