Aslida, Ion nurlari yordamida cho'ktirish texnologiyasi kompozit texnologiyadir. Bu ion implantatsiyasi va fizik bug' cho'ktirish plyonka texnologiyasini birlashtirgan kompozit sirt ionlarini qayta ishlash texnikasi va yangi turdagi ion nurlari yuzasini optimallashtirish texnikasi. Fizik bug' cho'ktirishning afzalliklaridan tashqari, ushbu texnika har qanday qalinlikdagi plyonkani yanada qattiqroq nazorat sharoitida doimiy ravishda o'stirishi, plyonka qatlamining kristalligi va yo'nalishini sezilarli darajada yaxshilashi, plyonka qatlami/substratining yopishish kuchini oshirishi, plyonka qatlamining zichligini yaxshilashi va xona haroratida ideal stexiometrik nisbatlarga ega bo'lgan aralash plyonkalarni, jumladan, xona harorati va bosimida olinmaydigan yangi turdagi plyonkalarni sintez qilishi mumkin. Ion nurlari yordamida cho'ktirish nafaqat ion implantatsiyasi jarayonining afzalliklarini saqlab qoladi, balki substratni substratdan butunlay boshqa plyonka bilan qoplashi mumkin.
Har qanday fizik bug'lanish va kimyoviy bug'lanishda IBAD tizimini yaratish uchun yordamchi bombardimon ion qurollari to'plami qo'shilishi mumkin va rasmda ko'rsatilganidek, ikkita umumiy IBAD jarayoni mavjud:
(a)-rasmda ko'rsatilganidek, ion tabancasidan chiqadigan ion nuri bilan plyonka qatlamini nurlantirish uchun elektron nurli bug'lanish manbai ishlatiladi, shu bilan ion nuri yordamida cho'ktirish amalga oshiriladi. Afzalligi shundaki, ion nuri energiyasi va yo'nalishini sozlash mumkin, ammo bug'lanish manbai sifatida faqat bitta yoki cheklangan qotishma yoki birikma ishlatilishi mumkin va qotishma komponenti va birikmasining har bir bug' bosimi har xil bo'ladi, bu esa asl bug'lanish manbai tarkibining plyonka qatlamini olishni qiyinlashtiradi.
(b)-rasmda ion nurlari bilan purkash yordamida cho'ktirish ko'rsatilgan, bu qo'shaloq ion nurlari bilan purkash yordamida cho'ktirish deb ham ataladi, bunda nishon ion nurlari bilan purkash qoplama materialidan tayyorlangan holda, purkash mahsulotlari manba sifatida ishlatiladi. Uni substratga cho'ktirishda ion nurlari bilan purkash yordamida cho'ktirish boshqa ion manbai bilan nurlantirish orqali amalga oshiriladi. Ushbu usulning afzalligi shundaki, purkalgan zarrachalarning o'zlari ma'lum bir energiyaga ega, shuning uchun substrat bilan yaxshiroq yopishish mavjud; nishonning har qanday komponenti purkash qoplamasi bo'lishi mumkin, shuningdek, plyonkaga reaksiya orqali purkash ham bo'lishi mumkin, plyonka tarkibini sozlash oson, ammo uning cho'ktirish samaradorligi past, nishon qimmat va tanlab purkash kabi muammolar mavjud.
Nashr vaqti: 2022-yil 8-noyabr