প্রকৃতপক্ষে, আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশন প্রযুক্তি একটি যৌগিক প্রযুক্তি। এটি আয়ন ইমপ্লান্টেশন এবং ফিজিক্যাল ভেপার ডিপোজিশন ফিল্ম প্রযুক্তির সমন্বয়ে গঠিত একটি যৌগিক পৃষ্ঠতল আয়ন প্রক্রিয়াকরণ কৌশল এবং এক নতুন ধরনের আয়ন বিম পৃষ্ঠতল অপ্টিমাইজেশন কৌশল। ফিজিক্যাল ভেপার ডিপোজিশনের সুবিধাগুলো ছাড়াও, এই কৌশলটি আরও কঠোর নিয়ন্ত্রণের অধীনে যেকোনো পুরুত্বের ফিল্ম অবিচ্ছিন্নভাবে তৈরি করতে পারে, ফিল্ম স্তরের ক্রিস্টালিনিটি এবং ওরিয়েন্টেশনকে আরও উল্লেখযোগ্যভাবে উন্নত করতে পারে, ফিল্ম স্তর/সাবস্ট্রেটের আনুগত্য শক্তি বাড়াতে পারে, ফিল্ম স্তরের ঘনত্ব উন্নত করতে পারে এবং প্রায় কক্ষ তাপমাত্রায় আদর্শ স্টোইকিওমেট্রিক অনুপাতে যৌগিক ফিল্ম সংশ্লেষণ করতে পারে, যার মধ্যে এমন নতুন ধরনের ফিল্মও রয়েছে যা কক্ষ তাপমাত্রা ও চাপে পাওয়া যায় না। আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশন কেবল আয়ন ইমপ্লান্টেশন প্রক্রিয়ার সুবিধাই ধরে রাখে না, বরং সাবস্ট্রেটকে তার থেকে সম্পূর্ণ ভিন্ন একটি ফিল্ম দিয়েও আবৃত করতে পারে।
সব ধরনের ফিজিক্যাল ভেপার ডিপোজিশন এবং কেমিক্যাল ভেপার ডিপোজিশন পদ্ধতিতে, এক সেট সহায়ক বোম্বার্ডমেন্ট আয়ন গান যুক্ত করে একটি IBAD সিস্টেম গঠন করা যায়, এবং সাধারণ দুটি IBAD প্রক্রিয়া নিচে দেওয়া হলো, যা ছবিতে দেখানো হয়েছে:
চিত্র (ক)-তে যেমন দেখানো হয়েছে, আয়ন গান থেকে নির্গত আয়ন বিম দ্বারা ফিল্ম স্তরকে বিকিরণ করার জন্য একটি ইলেকট্রন বিম ইভাপোরেশন সোর্স ব্যবহার করা হয়, যার ফলে আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশন বাস্তবায়িত হয়। এর সুবিধা হলো আয়ন বিমের শক্তি এবং দিক সামঞ্জস্য করা যায়, কিন্তু ইভাপোরেশন সোর্স হিসেবে শুধুমাত্র একটি বা সীমিত সংখ্যক অ্যালয় বা যৌগ ব্যবহার করা যায় এবং অ্যালয় উপাদান ও যৌগের প্রতিটি বাষ্পচাপ ভিন্ন হওয়ায় মূল ইভাপোরেশন সোর্সের গঠন অনুযায়ী ফিল্ম স্তর পাওয়া কঠিন হয়ে পড়ে।
চিত্র (b)-তে আয়ন বিম স্পাটারিং-সহায়ক অবক্ষেপণ দেখানো হয়েছে, যা ডাবল আয়ন বিম স্পাটারিং অবক্ষেপণ নামেও পরিচিত। এই পদ্ধতিতে আয়ন বিম স্পাটারিং কোটিং উপাদান দিয়ে তৈরি টার্গেট এবং স্পাটারিং উৎপাদসমূহকে উৎস হিসেবে ব্যবহার করা হয়। সাবস্ট্রেটের উপর এটি জমা করার সময়, অন্য একটি আয়ন উৎস দ্বারা বিকিরণের মাধ্যমে আয়ন বিম স্পাটারিং-সহায়ক অবক্ষেপণ সম্পন্ন করা হয়। এই পদ্ধতির সুবিধা হলো, স্পাটার করা কণাগুলোর নিজস্ব একটি নির্দিষ্ট শক্তি থাকে, ফলে সাবস্ট্রেটের সাথে এর আসঞ্জন ভালো হয়; টার্গেটের যেকোনো উপাদানকে স্পাটারিং কোটিং হিসেবে ব্যবহার করা যায়, এমনকি রিঅ্যাকশন স্পাটারিংয়ের মাধ্যমেও ফিল্ম তৈরি করা যায়, এবং এর ফলে ফিল্মের গঠন সহজেই সামঞ্জস্য করা যায়। কিন্তু এর অবক্ষেপণ দক্ষতা কম, টার্গেট ব্যয়বহুল এবং সিলেক্টিভ স্পাটারিংয়ের মতো সমস্যা রয়েছে।
পোস্ট করার সময়: ০৮-নভেম্বর-২০২২