প্রকৃতপক্ষে, আয়ন রশ্মি সহায়ক জমা প্রযুক্তি একটি যৌগিক প্রযুক্তি।এটি একটি যৌগিক সারফেস আয়ন ট্রিটমেন্ট টেকনিক যা আয়ন ইমপ্লান্টেশন এবং ফিজিক্যাল বাষ্প ডিপোজিশন ফিল্ম টেকনোলজি এবং একটি নতুন ধরনের আয়ন বিম সারফেস অপ্টিমাইজেশান টেকনিকের সমন্বয়ে।শারীরিক বাষ্প জমার সুবিধাগুলি ছাড়াও, এই কৌশলটি আরও কঠোর নিয়ন্ত্রণের পরিস্থিতিতে ক্রমাগত যেকোনো বেধের ফিল্ম বৃদ্ধি করতে পারে, ফিল্ম স্তরের স্ফটিকতা এবং অভিযোজন আরও উল্লেখযোগ্যভাবে উন্নত করতে পারে, ফিল্ম স্তর/সাবস্ট্রেটের আনুগত্য শক্তি বাড়াতে পারে, ঘনত্ব উন্নত করতে পারে। ফিল্ম স্তরের, এবং কাছাকাছি ঘরের তাপমাত্রায় আদর্শ স্টোইচিওমেট্রিক অনুপাত সহ যৌগিক ফিল্মগুলিকে সংশ্লেষিত করে, যার মধ্যে নতুন ধরনের ফিল্ম যা ঘরের তাপমাত্রা এবং চাপে পাওয়া যায় না।আয়ন রশ্মির সাহায্যে জমা করা আয়ন ইমপ্লান্টেশন প্রক্রিয়ার সুবিধাগুলিকে কেবল ধরেই রাখে না, তবে সাবস্ট্রেট থেকে সম্পূর্ণ আলাদা ফিল্ম দিয়ে সাবস্ট্রেটকে আবৃত করতে পারে।
সমস্ত ধরণের ভৌত বাষ্প জমা এবং রাসায়নিক বাষ্প জমার ক্ষেত্রে, একটি আইবিএডি সিস্টেম গঠনের জন্য সহায়ক বোমাবাজি আয়ন বন্দুকের একটি সেট যোগ করা যেতে পারে এবং এখানে দুটি সাধারণ আইবিএডি প্রক্রিয়া রয়েছে, যেমনটি ছবিতে দেখানো হয়েছে:
Pic (a) তে দেখানো হয়েছে, আয়ন বন্দুক থেকে নির্গত আয়ন রশ্মি দিয়ে ফিল্ম স্তরকে বিকিরণ করতে একটি ইলেক্ট্রন রশ্মি বাষ্পীভবন উৎস ব্যবহার করা হয়, এইভাবে আয়ন রশ্মি সহায়ক জমা অনুধাবন করে।সুবিধা হল যে আয়ন রশ্মি শক্তি এবং দিক সামঞ্জস্য করা যেতে পারে, তবে শুধুমাত্র একটি একক বা সীমিত খাদ, বা যৌগ বাষ্পীভবনের উত্স হিসাবে ব্যবহার করা যেতে পারে এবং সংকর উপাদান এবং যৌগের প্রতিটি বাষ্পের চাপ আলাদা, যা এটিকে কঠিন করে তোলে। মূল বাষ্পীভবন উৎস রচনার ফিল্ম স্তর প্রাপ্ত করতে.
Pic (b) আয়ন রশ্মি স্পটারিং-সহায়তা জমা দেখায়, যা ডাবল আয়ন রশ্মি স্পটারিং জমা নামেও পরিচিত, যেখানে আয়ন রশ্মি স্পটারিং আবরণ উপাদান দিয়ে তৈরি লক্ষ্যবস্তু, স্পুটারিং পণ্যগুলি উত্স হিসাবে ব্যবহৃত হয়।এটিকে সাবস্ট্রেটে জমা করার সময়, আয়ন রশ্মি স্পুটারিং সহায়ক জমা অন্য আয়ন উত্সের সাথে বিকিরণ দ্বারা অর্জন করা হয়।এই পদ্ধতির সুবিধা হল যে ছিদ্রযুক্ত কণাগুলির নিজেরাই একটি নির্দিষ্ট শক্তি থাকে, তাই সাবস্ট্রেটের সাথে আরও ভাল আনুগত্য থাকে;টার্গেটের যেকোন কম্পোনেন্ট স্পুটারড লেপ হতে পারে, তবে ফিল্মের মধ্যে রিঅ্যাকশন স্পুটারিংও হতে পারে, ফিল্মের কম্পোজিশন সামঞ্জস্য করা সহজ, কিন্তু এর ডিপোজিশন দক্ষতা কম, টার্গেট ব্যয়বহুল এবং সিলেক্টিভ স্পুটারিং এর মত সমস্যা আছে।
পোস্টের সময়: নভেম্বর-০৮-২০২২