वास्तव में, आयन बीम असिस्टेड डिपोजिशन तकनीक एक मिश्रित तकनीक है।यह एक मिश्रित सतह आयन उपचार तकनीक है जो आयन आरोपण और भौतिक वाष्प जमाव फिल्म प्रौद्योगिकी और एक नई प्रकार की आयन बीम सतह अनुकूलन तकनीक का संयोजन है।भौतिक वाष्प जमाव के फायदों के अलावा, यह तकनीक अधिक कठोर नियंत्रण स्थितियों के तहत किसी भी मोटाई की फिल्म को लगातार विकसित कर सकती है, फिल्म परत की क्रिस्टलीयता और अभिविन्यास में काफी सुधार कर सकती है, फिल्म परत/सब्सट्रेट की आसंजन शक्ति बढ़ा सकती है, घनत्व में सुधार कर सकती है फिल्म परत का, और कमरे के तापमान पर आदर्श स्टोइकोमेट्रिक अनुपात के साथ मिश्रित फिल्मों को संश्लेषित करता है, जिसमें नई प्रकार की फिल्में भी शामिल हैं जिन्हें कमरे के तापमान और दबाव पर प्राप्त नहीं किया जा सकता है।आयन बीम सहायता प्राप्त जमाव न केवल आयन आरोपण प्रक्रिया के लाभों को बरकरार रखता है, बल्कि सब्सट्रेट को सब्सट्रेट से पूरी तरह से अलग फिल्म के साथ कवर भी कर सकता है।
सभी प्रकार के भौतिक वाष्प जमाव और रासायनिक वाष्प जमाव में, IBAD प्रणाली बनाने के लिए सहायक बमबारी आयन बंदूकों का एक सेट जोड़ा जा सकता है, और दो सामान्य IBAD प्रक्रियाएं निम्नानुसार हैं, जैसा कि चित्र में दिखाया गया है:
जैसा कि चित्र (ए) में दिखाया गया है, एक इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण स्रोत का उपयोग आयन गन से उत्सर्जित आयन बीम के साथ फिल्म परत को विकिरणित करने के लिए किया जाता है, इस प्रकार आयन बीम सहायता प्राप्त जमाव का एहसास होता है।लाभ यह है कि आयन बीम ऊर्जा और दिशा को समायोजित किया जा सकता है, लेकिन वाष्पीकरण स्रोत के रूप में केवल एक या सीमित मिश्र धातु या यौगिक का उपयोग किया जा सकता है, और मिश्र धातु घटक और यौगिक का प्रत्येक वाष्प दबाव अलग होता है, जिससे यह मुश्किल हो जाता है मूल वाष्पीकरण स्रोत संरचना की फिल्म परत प्राप्त करने के लिए।
तस्वीर (बी) आयन बीम स्पटरिंग-असिस्टेड डिपोजिशन को दिखाती है, जिसे डबल आयन बीम स्पटरिंग डिपोजिशन के रूप में भी जाना जाता है, जिसमें आयन बीम स्पटरिंग कोटिंग सामग्री से बने लक्ष्य, स्पटरिंग उत्पादों को स्रोत के रूप में उपयोग किया जाता है।इसे सब्सट्रेट पर जमा करते समय, आयन बीम स्पटरिंग की सहायता से जमाव एक अन्य आयन स्रोत के साथ विकिरण द्वारा प्राप्त किया जाता है।इस विधि का लाभ यह है कि थूके हुए कणों में स्वयं एक निश्चित ऊर्जा होती है, इसलिए सब्सट्रेट के साथ बेहतर आसंजन होता है;लक्ष्य के किसी भी घटक को स्पटरिंग कोटिंग किया जा सकता है, लेकिन फिल्म में प्रतिक्रिया स्पटरिंग भी हो सकती है, फिल्म की संरचना को समायोजित करना आसान है, लेकिन इसकी जमाव दक्षता कम है, लक्ष्य महंगा है और चयनात्मक स्पटरिंग जैसी समस्याएं हैं।
पोस्ट करने का समय: नवंबर-08-2022