ʻO ka ʻoiaʻiʻo, he ʻenehana hui pū ʻia ka ʻenehana hoʻopaʻa ʻana i ke kōkua o ke kukuna Ion. He ʻenehana lapaʻau ion ʻili hui pū ʻia e hoʻohui ana i ka hoʻokomo ʻana o ka ion a me ka ʻenehana kiʻiʻoniʻoni hoʻopaʻa ʻana i ka mahu kino, a me kahi ʻano hou o ke ʻano hana hoʻonui ʻana i ka ʻili kukuna ion. Ma waho aʻe o nā pono o ka hoʻopaʻa ʻana i ka mahu kino, hiki i kēia ʻenehana ke hoʻonui mau i kekahi kiʻiʻoniʻoni mānoanoa ma lalo o nā kūlana kaohi paʻa, hoʻomaikaʻi i ka crystallinity a me ke kuhikuhi ʻana o ka papa kiʻiʻoniʻoni me ka nui, hoʻonui i ka ikaika adhesion o ka papa kiʻiʻoniʻoni/substrate, hoʻomaikaʻi i ka mānoanoa o ka papa kiʻiʻoniʻoni, a synthesize i nā kiʻiʻoniʻoni hui me nā lakio stoichiometric kūpono ma kahi kokoke i ka mahana o ka lumi, me nā ʻano kiʻiʻoniʻoni hou ʻaʻole hiki ke loaʻa ma ka mahana o ka lumi a me ke kaomi. ʻAʻole wale ka hoʻopaʻa ʻana i ke kōkua o ke kukuna Ion e mālama i nā pono o ke kaʻina hana hoʻokomo ion, akā hiki ke uhi i ka substrate me kahi kiʻiʻoniʻoni ʻokoʻa loa mai ka substrate.
Ma nā ʻano hoʻoheheʻe mahu kino a me ka hoʻoheheʻe mahu kemika, hiki ke hoʻohui ʻia kahi pūʻulu o nā pū ion bombardment kōkua e hana i kahi ʻōnaehana IBAD, a aia ʻelua mau kaʻina hana IBAD maʻamau e like me kēia, e like me ka mea i hōʻike ʻia ma ke kiʻi:
E like me ka mea i hōʻike ʻia ma ke Kiʻi (a), hoʻohana ʻia kahi kumu hoʻoheheʻe kukuna uila e hoʻomālamalama i ka papa kiʻiʻoniʻoni me ke kukuna ion i hoʻopuka ʻia mai ka pū ion, no laila e hoʻokō ana i ka waiho ʻana me ke kōkua o ke kukuna ion. ʻO ka pōmaikaʻi, hiki ke hoʻololi ʻia ka ikehu a me ke kuhikuhi o ke kukuna ion, akā hoʻokahi wale nō a i ʻole ka hui i kaupalena ʻia, a i ʻole ka hui i hiki ke hoʻohana ʻia ma ke ʻano he kumu hoʻoheheʻe, a ʻokoʻa kēlā me kēia kaomi mahu o ka ʻāpana hui a me ka hui, kahi e paʻakikī ai ke loaʻa ka papa kiʻiʻoniʻoni o ka haku mele kumu hoʻoheheʻe mua.
Hōʻike ʻo Pic (b) i ka hoʻopili ʻana o ke kōkua ʻana o ka ion beam sputtering, i ʻike ʻia hoʻi ʻo ka hoʻopili ʻana o ka ion beam sputtering pālua, kahi i hana ʻia ai ka pahuhopu me ka mea uhi ion beam sputtering, hoʻohana ʻia nā huahana sputtering ma ke ʻano he kumu. ʻOiai e waiho ana ma luna o ka substrate, hoʻokō ʻia ka hoʻopili ʻana o ke kōkua ʻana o ka ion beam sputtering ma o ka irradiation me kekahi kumu ion ʻē aʻe. ʻO ka pōmaikaʻi o kēia ʻano hana, ʻo ia ka loaʻa ʻana o kahi ikehu i nā ʻāpana sputtered ponoʻī, no laila ʻoi aku ka maikaʻi o ka hoʻopili ʻana me ka substrate; hiki ke hoʻopili ʻia kekahi ʻāpana o ka pahuhopu, akā hiki nō hoʻi ke hoʻopili ʻia i loko o ke kiʻiʻoniʻoni, maʻalahi ke hoʻoponopono i ka haku mele o ke kiʻiʻoniʻoni, akā haʻahaʻa kona pono o ka hoʻopili ʻana, he pipiʻi ke kumu a aia nā pilikia e like me ka sputtering koho.
Ka manawa hoʻouna: Nov-08-2022