Шын мәнінде, иондық сәулемен тұндыру технологиясы - композиттік технология. Бұл иондық имплантация мен физикалық бумен тұндыру пленкасы технологиясын біріктіретін композиттік беттік иондық өңдеу әдісі және иондық сәулемен беттік оңтайландыру техникасының жаңа түрі. Физикалық бумен тұндыру артықшылықтарынан басқа, бұл әдіс кез келген қалыңдық пленкасын қатаң бақылау жағдайларында үздіксіз өсіре алады, пленка қабатының кристалдылығы мен бағытын айтарлықтай жақсарта алады, пленка қабатының/субстраттың адгезия беріктігін арттыра алады, пленка қабатының тығыздығын жақсарта алады және бөлме температурасында, соның ішінде бөлме температурасында және қысымда алуға болмайтын жаңа пленка түрлерін қоса алғанда, идеалды стехиометриялық қатынасы бар құрама пленкаларды синтездей алады. Иондық сәулемен тұндыру иондық имплантация процесінің артықшылықтарын сақтап қана қоймай, сонымен қатар субстратты субстраттан мүлдем басқа пленкамен жаба алады.
Физикалық бумен тұндырудың және химиялық бумен тұндырудың барлық түрлерінде IBAD жүйесін құру үшін қосалқы бомбалау иондық зеңбіректерінің жиынтығын қосуға болады, және суретте көрсетілгендей, екі жалпы IBAD процесі бар:
(a) суретте көрсетілгендей, электронды сәуленің булану көзі пленка қабатын иондық зеңбіректен шығарылатын иондық сәулемен сәулелендіру үшін қолданылады, осылайша иондық сәуле көмегімен тұндыру жүзеге асырылады. Артықшылығы - иондық сәуленің энергиясы мен бағытын реттеуге болады, бірақ булану көзі ретінде тек бір немесе шектеулі қорытпаны немесе қосылысты пайдалануға болады, ал қорытпа компоненті мен қосылысының әрбір бу қысымы әртүрлі, бұл бастапқы булану көзінің құрамының пленка қабатын алуды қиындатады.
(b) суретте иондық сәулемен шашырату арқылы тұндыру көрсетілген, ол қос иондық сәулемен шашырату арқылы тұндыру деп те аталады, онда нысана иондық сәулемен шашырату жабыны материалынан жасалған, шашырату өнімдері көз ретінде пайдаланылады. Оны негізге тұндыру кезінде иондық сәулемен шашырату арқылы тұндыру басқа ион көзімен сәулелендіру арқылы жүзеге асырылады. Бұл әдістің артықшылығы - шашыратылған бөлшектердің өздері белгілі бір энергияға ие, сондықтан негізбен жақсы адгезия болады; нысананың кез келген компоненті шашырату арқылы жабынды бола алады, сонымен қатар пленкаға реакциялық шашырату арқылы да болуы мүмкін, пленканың құрамын реттеу оңай, бірақ оның тұндыру тиімділігі төмен, нысана қымбат және селективті шашырату сияқты мәселелер бар.
Жарияланған уақыты: 2022 жылғы 8 қараша