అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ టెక్నాలజీ

నిజానికి, అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ టెక్నాలజీ అనేది కాంపోజిట్ టెక్నాలజీ.ఇది అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ మరియు ఫిజికల్ ఆవిరి డిపాజిషన్ ఫిల్మ్ టెక్నాలజీని మిళితం చేసే మిశ్రమ ఉపరితల అయాన్ ట్రీట్‌మెంట్ టెక్నిక్ మరియు కొత్త రకం అయాన్ బీమ్ సర్ఫేస్ ఆప్టిమైజేషన్ టెక్నిక్.భౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ యొక్క ప్రయోజనాలతో పాటు, ఈ సాంకేతికత మరింత కఠినమైన నియంత్రణ పరిస్థితులలో ఏదైనా మందం ఫిల్మ్‌ను నిరంతరం పెంచుతుంది, ఫిల్మ్ లేయర్ యొక్క స్ఫటికీకరణ మరియు ధోరణిని మరింత గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది, ఫిల్మ్ లేయర్/సబ్‌స్ట్రేట్ యొక్క సంశ్లేషణ బలాన్ని పెంచుతుంది, సాంద్రతను మెరుగుపరుస్తుంది. ఫిల్మ్ లేయర్, మరియు గది ఉష్ణోగ్రత మరియు పీడనం వద్ద పొందలేని కొత్త రకాల ఫిల్మ్‌లతో సహా గది ఉష్ణోగ్రత వద్ద ఆదర్శవంతమైన స్టోయికియోమెట్రిక్ నిష్పత్తులతో సమ్మేళనం ఫిల్మ్‌లను సంశ్లేషణ చేస్తుంది.అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ ప్రక్రియ యొక్క ప్రయోజనాలను నిలుపుకోవడమే కాకుండా, సబ్‌స్ట్రేట్ నుండి పూర్తిగా భిన్నమైన ఫిల్మ్‌తో సబ్‌స్ట్రేట్‌ను కవర్ చేస్తుంది.
అన్ని రకాల భౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ మరియు రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణలో, IBAD వ్యవస్థను రూపొందించడానికి సహాయక బాంబు అయాన్ తుపాకుల సమితిని జోడించవచ్చు మరియు చిత్రంలో చూపిన విధంగా క్రింది విధంగా రెండు సాధారణ IBAD ప్రక్రియలు ఉన్నాయి:

Pic (a)లో చూపినట్లుగా, అయాన్ గన్ నుండి విడుదలయ్యే అయాన్ పుంజంతో ఫిల్మ్ లేయర్‌ను రేడియేట్ చేయడానికి ఎలక్ట్రాన్ బీమ్ బాష్పీభవన మూలం ఉపయోగించబడుతుంది, తద్వారా అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణను గ్రహించవచ్చు.ప్రయోజనం ఏమిటంటే అయాన్ పుంజం శక్తి మరియు దిశను సర్దుబాటు చేయవచ్చు, కానీ ఒకే లేదా పరిమిత మిశ్రమం లేదా సమ్మేళనం మాత్రమే బాష్పీభవన మూలంగా ఉపయోగించబడుతుంది మరియు మిశ్రమం భాగం మరియు సమ్మేళనం యొక్క ప్రతి ఆవిరి పీడనం భిన్నంగా ఉంటుంది, ఇది కష్టతరం చేస్తుంది. అసలు బాష్పీభవన మూల కూర్పు యొక్క ఫిల్మ్ లేయర్‌ను పొందేందుకు.
Pic (b) అయాన్ బీమ్ స్పుట్టరింగ్-సహాయక నిక్షేపణను చూపుతుంది, దీనిని డబుల్ అయాన్ బీమ్ స్పుట్టరింగ్ డిపాజిషన్ అని కూడా పిలుస్తారు, దీనిలో అయాన్ బీమ్ స్పుట్టరింగ్ కోటింగ్ మెటీరియల్‌తో చేసిన లక్ష్యం, స్పుట్టరింగ్ ఉత్పత్తులు మూలంగా ఉపయోగించబడుతుంది.దానిని సబ్‌స్ట్రేట్‌పై నిక్షిప్తం చేస్తున్నప్పుడు, అయాన్ బీమ్ స్పుట్టరింగ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ మరొక అయాన్ మూలంతో వికిరణం ద్వారా సాధించబడుతుంది.ఈ పద్ధతి యొక్క ప్రయోజనం ఏమిటంటే, స్పుటర్డ్ కణాలు తాము ఒక నిర్దిష్ట శక్తిని కలిగి ఉంటాయి, కాబట్టి ఉపరితలంతో మెరుగైన సంశ్లేషణ ఉంటుంది;లక్ష్యంలోని ఏదైనా భాగం పూత పూయవచ్చు, కానీ ఫిల్మ్‌లోకి రియాక్షన్ స్పుట్టరింగ్ కావచ్చు, ఫిల్మ్ కూర్పును సర్దుబాటు చేయడం సులభం, కానీ దాని నిక్షేపణ సామర్థ్యం తక్కువగా ఉంటుంది, లక్ష్యం ఖరీదైనది మరియు ఎంపిక చేసిన స్పుట్టరింగ్ వంటి సమస్యలు ఉన్నాయి.