వాస్తవానికి, అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపోజిషన్ టెక్నాలజీ అనేది ఒక మిశ్రమ సాంకేతికత. ఇది అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ మరియు ఫిజికల్ వేపర్ డిపోజిషన్ ఫిల్మ్ టెక్నాలజీలను, మరియు ఒక కొత్త రకమైన అయాన్ బీమ్ సర్ఫేస్ ఆప్టిమైజేషన్ టెక్నిక్ను కలిపి రూపొందించిన ఒక మిశ్రమ ఉపరితల అయాన్ ట్రీట్మెంట్ టెక్నిక్. ఫిజికల్ వేపర్ డిపోజిషన్ యొక్క ప్రయోజనాలతో పాటు, ఈ టెక్నిక్ మరింత కఠినమైన నియంత్రణ పరిస్థితులలో ఏ మందం గల ఫిల్మ్నైనా నిరంతరంగా పెంచగలదు, ఫిల్మ్ పొర యొక్క క్రిస్టాలినిటీ మరియు ఓరియంటేషన్ను మరింత గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది, ఫిల్మ్ పొర/సబ్స్ట్రేట్ యొక్క అతుక్కునే బలాన్ని పెంచుతుంది, ఫిల్మ్ పొర యొక్క సాంద్రతను మెరుగుపరుస్తుంది, మరియు గది ఉష్ణోగ్రత మరియు పీడనం వద్ద పొందలేని కొత్త రకాల ఫిల్మ్లతో సహా, గది ఉష్ణోగ్రతకు దగ్గరగా ఆదర్శవంతమైన స్టోయికియోమెట్రిక్ నిష్పత్తులతో మిశ్రమ ఫిల్మ్లను సంశ్లేషణ చేయగలదు. అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపోజిషన్ అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ ప్రక్రియ యొక్క ప్రయోజనాలను నిలుపుకోవడమే కాకుండా, సబ్స్ట్రేట్ను దాని అసలు ఉపరితలం నుండి పూర్తిగా భిన్నమైన ఫిల్మ్తో కవర్ చేయగలదు.
అన్ని రకాల ఫిజికల్ వేపర్ డిపోజిషన్ మరియు కెమికల్ వేపర్ డిపోజిషన్లో, ఒక IBAD వ్యవస్థను రూపొందించడానికి సహాయక బాంబార్డ్మెంట్ అయాన్ గన్ల సెట్ను జోడించవచ్చు మరియు చిత్రంలో చూపిన విధంగా రెండు సాధారణ IBAD ప్రక్రియలు ఈ క్రింది విధంగా ఉన్నాయి:
పటం (ఎ)లో చూపిన విధంగా, అయాన్ గన్ నుండి వెలువడే అయాన్ పుంజంతో ఫిల్మ్ పొరను ప్రసరింపజేయడానికి ఎలక్ట్రాన్ పుంజం బాష్పీభవన మూలాన్ని ఉపయోగిస్తారు, తద్వారా అయాన్ పుంజం సహాయక నిక్షేపణను సాధిస్తారు. దీని ప్రయోజనం ఏమిటంటే, అయాన్ పుంజం యొక్క శక్తిని మరియు దిశను సర్దుబాటు చేయవచ్చు, కానీ బాష్పీభవన మూలంగా ఒకే లేదా పరిమిత మిశ్రమలోహాన్ని లేదా సమ్మేళనాన్ని మాత్రమే ఉపయోగించవచ్చు, మరియు మిశ్రమలోహ భాగం మరియు సమ్మేళనం యొక్క ప్రతి బాష్ప పీడనం భిన్నంగా ఉంటుంది, ఇది అసలు బాష్పీభవన మూల కూర్పు యొక్క ఫిల్మ్ పొరను పొందడాన్ని కష్టతరం చేస్తుంది.
పటం (బి) అయాన్ బీమ్ స్పట్టరింగ్-సహాయక డిపోజిషన్ను చూపిస్తుంది, దీనిని డబుల్ అయాన్ బీమ్ స్పట్టరింగ్ డిపోజిషన్ అని కూడా అంటారు. ఇందులో అయాన్ బీమ్ స్పట్టరింగ్ కోటింగ్ మెటీరియల్తో తయారు చేసిన టార్గెట్ను, స్పట్టరింగ్ ఉత్పత్తులను సోర్స్గా ఉపయోగిస్తారు. దీనిని సబ్స్ట్రేట్పై డిపాజిట్ చేసేటప్పుడు, మరొక అయాన్ సోర్స్తో ఇర్రేడియేషన్ చేయడం ద్వారా అయాన్ బీమ్ స్పట్టరింగ్ సహాయక డిపోజిషన్ సాధించబడుతుంది. ఈ పద్ధతి యొక్క ప్రయోజనం ఏమిటంటే, స్పట్టర్ చేయబడిన కణాలకు స్వయంగా ఒక నిర్దిష్ట శక్తి ఉంటుంది, కాబట్టి సబ్స్ట్రేట్తో వాటికి మంచి అతుక్కునే గుణం ఉంటుంది; టార్గెట్లోని ఏ భాగాన్నైనా స్పట్టర్ కోటింగ్ చేయవచ్చు, లేదా రియాక్షన్ స్పట్టరింగ్ ద్వారా కూడా ఫిల్మ్గా మార్చవచ్చు, ఫిల్మ్ యొక్క కూర్పును సర్దుబాటు చేయడం సులభం, కానీ దీని డిపోజిషన్ సామర్థ్యం తక్కువగా ఉంటుంది, టార్గెట్ ఖరీదైనది మరియు సెలెక్టివ్ స్పట్టరింగ్ వంటి సమస్యలు ఉన్నాయి.
పోస్ట్ చేసిన సమయం: నవంబర్-08-2022