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Technologie de dépôt assisté par faisceau d'ions

Source de l'article : Aspirateur Zhenhua
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Publié:22-11-08

En fait, la technologie de dépôt assisté par faisceau d'ions est une technologie composite.Il s'agit d'une technique de traitement ionique de surface composite combinant l'implantation ionique et la technologie de film de dépôt physique en phase vapeur, et un nouveau type de technique d'optimisation de surface par faisceau ionique.En plus des avantages du dépôt physique en phase vapeur, cette technique peut faire croître en continu n'importe quelle épaisseur de film dans des conditions de contrôle plus strictes, améliorer la cristallinité et l'orientation de la couche de film de manière plus significative, augmenter la force d'adhérence de la couche de film/substrat, améliorer la densité de la couche de film et synthétiser des films composés avec des rapports stoechiométriques idéaux à température ambiante proche, y compris de nouveaux types de films qui ne peuvent pas être obtenus à température et pression ambiantes.Le dépôt assisté par faisceau d'ions conserve non seulement les avantages du procédé d'implantation ionique, mais peut également recouvrir le substrat d'un film complètement différent du substrat.
Dans tous les types de dépôt physique en phase vapeur et de dépôt chimique en phase vapeur, un ensemble de canons à ions de bombardement auxiliaires peut être ajouté pour former un système IBAD, et il existe deux processus généraux IBAD comme suit, comme indiqué sur la photo :
Technologie de dépôt assisté par faisceau d'ions
Comme le montre la figure (a), une source d'évaporation par faisceau d'électrons est utilisée pour irradier la couche de film avec le faisceau d'ions émis par le canon à ions, réalisant ainsi un dépôt assisté par faisceau d'ions.L'avantage est que l'énergie et la direction du faisceau ionique peuvent être ajustées, mais seul un alliage ou un composé unique ou limité peut être utilisé comme source d'évaporation, et la pression de vapeur de chaque composant d'alliage et composé est différente, ce qui rend difficile pour obtenir la couche de film de la composition source d'évaporation d'origine.
La photo (b) montre le dépôt assisté par pulvérisation par faisceau ionique, également connu sous le nom de dépôt par pulvérisation cathodique à double faisceau ionique, dans lequel la cible constituée d'un matériau de revêtement par pulvérisation cathodique par faisceau ionique, les produits de pulvérisation est utilisé comme source.Lors de son dépôt sur le substrat, le dépôt assisté par pulvérisation cathodique par faisceau d'ions est réalisé par irradiation avec une autre source d'ions.L'avantage de cette méthode est que les particules pulvérisées ont elles-mêmes une certaine énergie, il y a donc une meilleure adhérence avec le substrat ;n'importe quel composant de la cible peut être un revêtement pulvérisé, mais peut également être une pulvérisation de réaction dans le film, facile à ajuster la composition du film, mais son efficacité de dépôt est faible, la cible est chère et il y a des problèmes tels que la pulvérisation sélective.


Heure de publication : 08 novembre 2022