Чындыгында, ион нурунун жардамы менен чөктүрүү технологиясы - бул композиттик технология. Бул ион имплантациясын жана физикалык буу чөктүрүү пленка технологиясын айкалыштырган композиттик беттик иондук иштетүү ыкмасы жана ион нурунун бетин оптималдаштыруунун жаңы түрү. Физикалык буу чөктүрүүнүн артыкчылыктарынан тышкары, бул ыкма каалаган калыңдыктагы пленканы катаалыраак башкаруу шарттарында үзгүлтүксүз өстүрө алат, пленка катмарынын кристаллдуулугун жана багытын бир кыйла жакшыртат, пленка катмарынын/субстраттын адгезия күчүн жогорулатат, пленка катмарынын тыгыздыгын жакшыртат жана бөлмө температурасында идеалдуу стехиометриялык катышы бар кошулма пленкаларды, анын ичинде бөлмө температурасында жана басымда алууга мүмкүн болбогон жаңы типтеги пленкаларды синтездей алат. Ион нурунун жардамы менен чөктүрүү ион имплантациялоо процессинин артыкчылыктарын сактап гана тим болбостон, субстратты субстраттан таптакыр башка пленка менен жаап да коё алат.
Физикалык буу жана химиялык буу чөктүрүүнүн бардык түрлөрүндө IBAD системасын түзүү үчүн бир катар көмөкчү бомбалоочу иондук мылтыктарды кошсо болот жана сүрөттө көрсөтүлгөндөй, эки жалпы IBAD процесси бар:
Сүрөттө (а) көрсөтүлгөндөй, электрондук нурдун буулануу булагы пленка катмарын иондук мылтыктан чыккан иондук нур менен нурландыруу үчүн колдонулат, ошентип иондук нурдун жардамы менен чөктүрүү ишке ашырылат. Артыкчылыгы, иондук нурдун энергиясын жана багытын тууралоого болот, бирок буулануу булагы катары бир же чектелген эритмени же кошулманы гана колдонууга болот, ал эми эритменин компонентинин жана кошулманын ар бир буу басымы ар башка, бул баштапкы буулануу булагынын курамынын пленка катмарын алууну кыйындатат.
Сүрөт (b) ион нурунун жардамы менен чачыратылган чөкмө көрсөтүлгөн, ал кош ион нурунун чачыратылган чөкмө деп да аталат, мында бута ион нурунун чачыратылган каптоочу материалынан жасалган, чачыратуучу продуктылар булак катары колдонулат. Аны субстратка чөктүргөндө, ион нурунун чачыратылган жардам менен чөкмө башка ион булагы менен нурландыруу аркылуу ишке ашырылат. Бул ыкманын артыкчылыгы, чачыратылган бөлүкчөлөрдүн өздөрүнүн белгилүү бир энергиясы бар, ошондуктан субстрат менен жакшыраак адгезия болот; бутанын каалаган компоненти чачыратылган каптама болушу мүмкүн, бирок пленкага реакция аркылуу чачыратылышы мүмкүн, пленканын курамын жөнгө салуу оңой, бирок анын чөкмө эффективдүүлүгү төмөн, бута кымбат жана тандалма чачыратма сыяктуу көйгөйлөр бар.
Жарыяланган убактысы: 2022-жылдын 8-ноябры