Дар асл, технологияи ҷойгиркунии бо ёрии шуоъи ион як технологияи композитӣ аст. Ин як техникаи коркарди ионии сатҳи композитӣ мебошад, ки имплантатсияи ион ва технологияи плёнкаи ҷойгиркунии буғи физикӣ ва як навъи нави техникаи беҳсозии сатҳи шуоъи ионро муттаҳид мекунад. Илова бар бартариҳои ҷойгиркунии буғи физикӣ, ин техника метавонад ҳар гуна плёнкаи ғафсро дар шароити назорати сахттар пайваста парвариш кунад, кристаллӣ ва самти қабати плёнкаро ба таври назаррас беҳтар созад, қувваи часпакии қабати/субстрати плёнкаро афзоиш диҳад, зичии қабати плёнкаро беҳтар созад ва плёнкаҳои мураккабро бо таносубҳои стехиометрии идеалӣ дар ҳарорати наздики хонагӣ синтез кунад, аз ҷумла намудҳои нави плёнкаҳоеро, ки дар ҳарорати хонагӣ ва фишор ба даст оварда намешаванд. Ҷойгиркунии бо ёрии шуоъи ионӣ на танҳо бартариҳои раванди имплантатсияи ионро нигоҳ медорад, балки инчунин метавонад субстратро бо плёнкаи комилан фарқкунанда аз субстрат пӯшонад.
Дар ҳама намудҳои таҳшиншавии буғи физикӣ ва таҳшиншавии буғи кимиёвӣ, маҷмӯи тӯпҳои ёрирасони бомбаандозии ионӣ метавонад барои ташкили системаи IBAD илова карда шавад ва ду раванди умумии IBAD мавҷуданд, ки дар расм нишон дода шудаанд:
Тавре ки дар расми (а) нишон дода шудааст, манбаи бухоршавии шуоъи электронӣ барои нурпошӣ кардани қабати плёнка бо шуоъи ионие, ки аз таппончаи ионӣ хориҷ мешавад, истифода мешавад ва бо ин васила ҷойгиршавии бо ёрии шуоъи ионӣ ба амал меояд. Бартарӣ дар он аст, ки энергия ва самти шуоъи ионро метавон танзим кард, аммо танҳо як хӯла ё пайвастагии маҳдуд метавонад ҳамчун манбаи бухоршавӣ истифода шавад ва фишори буғи ҳар як ҷузъи хӯла ва пайвастагии он гуногун аст, ки ба даст овардани қабати плёнкавии таркиби аслии манбаи бухоршавиро душвор мегардонад.
Расми (b) таҳшиншавии бо ёрии пошидани нури ионӣ нишон дода шудааст, ки онро таҳшиншавии дукаратаи пошидани нури ионӣ низ меноманд, ки дар он ҳадаф аз маводи пӯшиши пошидани нури ионӣ сохта шудааст, маҳсулоти пошидани нури ионӣ ҳамчун манбаъ истифода мешаванд. Ҳангоми таҳшиншавии он дар зеризаминӣ, таҳшиншавии бо ёрии пошидани нури ионӣ тавассути нурпошӣ бо манбаи дигари ионӣ ба даст оварда мешавад. Бартарии ин усул дар он аст, ки худи зарраҳои пошидани нур энергияи муайян доранд, аз ин рӯ бо зеризаминӣ часпиши беҳтар вуҷуд дорад; ҳар як ҷузъи ҳадаф метавонад пӯшиши пошидани нур бошад, аммо инчунин метавонад пошидани реаксия ба плёнка бошад, ки таркиби плёнкаро танзим кардан осон аст, аммо самаранокии таҳшиншавии он паст аст, ҳадаф гарон аст ва мушкилоте ба монанди пошидани интихобӣ вуҷуд доранд.
Вақти нашр: 08 ноябри соли 2022