Үнэндээ ионы цацрагийн тусламжтайгаар тунадасжуулах технологи нь нийлмэл технологи юм. Энэ нь ионы суулгац болон физик уурын тунадасжуулах хальсны технологийг хослуулсан нийлмэл гадаргуугийн ионы боловсруулалтын техник бөгөөд ионы цацрагийн гадаргуугийн оновчлолын шинэ төрлийн техник юм. Физик уурын тунадасжуулах давуу талуудаас гадна энэхүү техник нь илүү хатуу хяналтын нөхцөлд ямар ч зузаан хальсыг тасралтгүй ургуулж, хальсан давхаргын талст чанар, чиглэлийг мэдэгдэхүйц сайжруулж, хальсан давхарга/субстратын наалдацын бат бөх чанарыг нэмэгдүүлж, хальсан давхаргын нягтралыг сайжруулж, өрөөний температурт, даралтад гаргаж авах боломжгүй шинэ төрлийн хальснуудыг оруулаад өрөөний температурт хамгийн тохиромжтой стехиометрийн харьцаатай нийлмэл хальсыг нийлэгжүүлж чаддаг. Ионы цацрагийн тусламжтайгаар тунадасжуулах нь ионы суулгацын процессын давуу талыг хадгалаад зогсохгүй, субстратыг субстратаас огт өөр хальсаар бүрхэж чаддаг.
Бүх төрлийн физик уурын тунадасжуулалт болон химийн уурын тунадасжуулалтад IBAD системийг бүрдүүлэхийн тулд туслах бөмбөгдөлтийн ионы буу нэмж болох бөгөөд Зурагт үзүүлсэн шиг дараах хоёр ерөнхий IBAD процесс байдаг:
Зураг (a)-д үзүүлсэнчлэн, электрон цацрагийн ууршилтын эх үүсвэрийг ашиглан ионы буунаас ялгарч буй ионы цацрагаар хальсан давхаргыг цацруулж, улмаар ионы цацрагийн тусламжтайгаар тунадасжуулалтыг бий болгодог. Давуу тал нь ионы цацрагийн энерги ба чиглэлийг тохируулж болох боловч зөвхөн ганц буюу хязгаарлагдмал хайлш эсвэл нэгдлийг ууршуулах эх үүсвэр болгон ашиглаж болох бөгөөд хайлшийн бүрэлдэхүүн хэсэг болон нэгдлийн уурын даралт тус бүр өөр өөр байдаг тул анхны ууршилтын эх үүсвэрийн найрлагын хальсан давхаргыг авахад хэцүү болгодог.
Зураг (b)-д ионы цацрагийн тусламжтайгаар тунадасжуулалтыг харуулав. Үүнийг давхар ионы цацрагийн цацалтын тунадас гэж нэрлэдэг бөгөөд ионы цацрагийн цацалтын бүрхүүлийн материалаар хийгдсэн байг эх үүсвэр болгон ашигладаг. Үүнийг суурь дээр тунадасжуулахдаа ионы цацрагийн цацалтын тусламжтайгаар тунадасжуулалтыг өөр ионы эх үүсвэрээр цацрагаар цацаж гүйцэтгэдэг. Энэ аргын давуу тал нь цацагдсан хэсгүүд өөрсдөө тодорхой энергитэй байдаг тул суурьтай илүү сайн наалддаг; байны аль ч бүрэлдэхүүн хэсгийг цацалтын бүрхүүлээр бүрэхээс гадна хальсан дээр урвалд орж, хальсны найрлагыг тохируулахад хялбар боловч тунадасжуулалтын үр ашиг бага, бай нь үнэтэй бөгөөд сонгомол цацалт зэрэг асуудлууд байдаг.
Нийтэлсэн цаг: 2022 оны 11-р сарын 08