Tiknoolajiyada dhigista ee ka caawisa shucaaca Ion

Xaqiiqdii, tignoolajiyada kaydinta ee ka caawisa shucaaca Ion waa tignoolajiyada isku dhafan. Waa farsamo daaweyn ah oo isku dhafan oo isku daraysa ion-ka dusha sare ee lagu beero ion-ka iyo tignoolajiyada filimka dhigista uumiga jirka, iyo nooc cusub oo farsamo ah oo lagu hagaajinayo dusha sare ee shucaaca ion-ka. Marka laga soo tago faa'iidooyinka kaydinta uumiga jirka, farsamadani waxay si joogto ah u kori kartaa filim kasta oo dhumucdiisuna ay adag tahay xaaladaha xakamaynta, waxay si weyn u hagaajin kartaa crystallinity-ga iyo jihada lakabka filimka, waxay kordhin kartaa xoogga isku dhejinta ee lakabka/substrate-ka filimka, waxay hagaajin kartaa cufnaanta lakabka filimka, waxayna soo saari kartaa filimaan isku dhafan oo leh saamiga stoichiometric ee ku habboon heerkulka qolka u dhow, oo ay ku jiraan noocyo cusub oo filimaan ah oo aan laga heli karin heerkulka qolka iyo cadaadiska. Kaydinta ka caawisa shucaaca Ion-ka ma aha oo kaliya inay ilaaliso faa'iidooyinka habka beerista ion-ka, laakiin sidoo kale waxay ku dabooli kartaa substrate-ka filim gebi ahaanba ka duwan substrate-ka.
Nooc kasta oo ah kaydinta uumiga jirka iyo kaydinta uumiga kiimikada, waxaa lagu dari karaa qoryaha bamgareynta ee caawiya si loo sameeyo nidaamka IBAD, waxaana jira laba hab oo guud oo IBAD ah sida soo socota, sida ku cad Sawirka:

Sida ku cad Pic (a), isha uumi-baxa ee elektarooniga ah ayaa loo isticmaalaa in lagu iftiimiyo lakabka filimka iyadoo la adeegsanayo fallaadhaha ion-ka ee ka soo baxaya qoriga ion-ka, sidaas darteedna la ogaanayo dhigista laambadda ion-ka ee caawisa dhigista. Faa'iidada ayaa ah in tamarta fallaadhaha ion-ka iyo jihada la hagaajin karo, laakiin hal ama isku-darka oo keliya ama isku-darka xaddidan ayaa loo isticmaali karaa sidii isha uumi-baxa, cadaadiska uumiga ee qaybta iyo isku-darka kastana waa ka duwan yahay, taasoo adkeyneysa in la helo lakabka filimka ee halabuurka isha uumi-baxa asalka ah.
Sawirka (b) wuxuu muujinayaa dhigista ion-ka ee ka caawisa sputtering-ka, kaas oo sidoo kale loo yaqaan dhigista double ion beam sputtering, kaas oo bartilmaameedka laga sameeyay walxaha dahaarka sputtering beam ion, badeecadaha sputtering-ka loo isticmaalo isha. Iyadoo lagu shubayo substrate-ka, dhigista ion beam sputtering-ka ee ka caawisa sputtering beam waxaa lagu gaaraa shucaac iyadoo la adeegsanayo ilo kale oo ion ah. Faa'iidada habkan ayaa ah in walxaha sputtering-ka laftoodu ay leeyihiin tamar gaar ah, sidaa darteed waxaa jira isku dhejin wanaagsan oo substrate-ka ah; qayb kasta oo ka mid ah bartilmaameedka waxaa laga yaabaa in dahaarka sputtered, laakiin sidoo kale waxay noqon kartaa falcelin ku shubaysa filimka, si fudud loo hagaajin karo halabuurka filimka, laakiin waxtarkeeda dhigista waa hooseeyaa, bartilmaameedku waa qaali waxaana jira dhibaatooyin sida sputtering xulasho ah.