Aslynda, Ion şöhlesine kömek edilen çöketlik tehnologiýasy birleşdirilen tehnologiýa. Bu ion implantasiýasyny we fiziki buglary çökdürmek film tehnologiýasyny we ion şöhleleriniň üstüni optimizirlemegiň täze görnüşini birleşdirýän ýerüsti ion bejeriş usulydyr. Fiziki bug çökdürmegiň artykmaçlyklaryndan başga-da, bu usul has berk gözegçilik şertlerinde islendik galyňlyk filmini yzygiderli ösdürip biler, film gatlagynyň kristallygyny we ugruny ep-esli gowulaşdyryp biler, film gatlagynyň / substratyň ýelme güýjüni ýokarlandyryp biler, film gatlagynyň dykyzlygyny ýokarlandyrar we otag temperaturasynda, şeýle hem otag temperaturasynda we alyp bolmajak filmleriň täze görnüşlerinde ideal stoihiometrik gatnaşygy bolan goşma filmleri sintez edip biler. Ion şöhlesiniň kömegi bilen ion implantasiýa prosesiniň artykmaçlyklaryny saklamak bilen çäklenmän, eýsem substratdan düýbünden başga bir film bilen örtügi hem örtüp biler.
Her dürli fiziki bug çökdürilişinde we himiki bug çökdürilişinde IBAD ulgamyny emele getirmek üçin kömekçi bombaly ion ýaraglary goşulyp bilner we suratda görkezilişi ýaly iki sany umumy IBAD prosesi bar:
Pic (a) -da görkezilişi ýaly, filmiň gatlagyny ion ýaragyndan çykýan ion şöhlesi bilen şöhlelendirmek üçin elektron şöhlesiniň bugarmak çeşmesi ulanylýar, şeýlelik bilen ion şöhlesiniň kömek edilmegine düşünilýär. Munuň artykmaçlygy, ion şöhleleriniň energiýasyny we ugruny sazlap bolýar, ýöne bugarmagyň çeşmesi hökmünde diňe bir ýa-da çäkli garyndy ýa-da birleşme ulanylyp bilner we garyndy komponentiniň we birleşmesiniň her bug basyşy üýtgeşik bolup, asyl bugarmak çeşmesiniň kompozisiýasynyň film gatlagyny almagy kynlaşdyrýar.
Pic (b) ion şöhlesiniň dökülmegine kömek edýän çöketligi görkezýär, bu goşa ion şöhlesiniň dökülýän depozisi hem diýilýär, bu ýerde ion şöhlesiniň dökülýän örtük materialyndan ýasalan maksat çeşme hökmünde ulanylýar. Substratda goýlanda, ion şöhleleriniň dökülmegine kömek edýän başga bir ion çeşmesi bilen şöhlelenme arkaly gazanylýar. Bu usulyň artykmaçlygy, dökülen bölejikleriň belli bir energiýa eýe bolmagy, şonuň üçin substrat bilen has gowy ýelmeşmegi; nyşanyň islendik bölegi pytraňňy örtük bolup biler, şeýle hem filmiň düzümine reaksiýa bolup biler, filmiň düzümini sazlamak aňsat, ýöne goýmagyň netijeliligi pes, nyşan gymmat we saýlama tüýkürmek ýaly meseleler bar.
Iş wagty: Noýabr-08-2022