Magnetron püskürtme örtügi örtük kamerasynda pes püskürtme tok dykyzlygy we pes plazma dykyzlygy bilen ýalpyldawuk razrýadda amala aşyrylýar. Bu bolsa magnetron püskürtme tehnologiýasynyň plýonka substratynyň pes baglanyş güýji, pes metal ionlaşma tizligi we pes çökündi tizligi ýaly kemçiliklerini döredýär. Magnetron püskürtme örtük maşynynda, ýaý boşaltma enjamy goşulýar, ol ýaý boşaltmasyndan dörän ýaý plazmasyndaky ýokary dykyzlykdaky elektron akymyny ulanyp, iş bölegini arassalap bilýär, şeýle hem örtük we kömekçi çökündilere gatnaşyp bilýär.
Magnetron püskürtme örtük maşynyna kiçi püskürtme çeşmesi, gönüburçlukly tekiz püskürtme çeşmesi ýa-da silindrik katod püskürtme çeşmesi bolup biljek ýaý boşadyş energiýa çeşmesini goşuň. Katod püskürtme çeşmesi tarapyndan döredilen ýokary dykyzlykly elektron akymy magnetron püskürtme örtüginiň tutuş prosesinde aşakdaky rollary oýnap biler:
1. Iş bölegini arassalaň. Örtmezden öň, katod ýaý çeşmesini we ş.m. açyň, gazy ýaý elektron akymy bilen ionlaşdyryň we iş bölegini pes energiýaly we ýokary dykyzlykly argon ionlary bilen arassalaň.
2. Ýaý çeşmesi we magnit dolandyryş nyşany bilelikde örtülýär. Ýalpyldawuk zyňyndysy bolan magnetron püskürtme nyşany örtük üçin işjeňleşdirilende, katod ýaý çeşmesi hem işjeňleşdirilýär we iki örtük çeşmesi hem bir wagtda örtülýär. Magnetron püskürtme nyşanasynyň we ýaý çeşmesiniň nyşanasynyň düzümi dürli bolanda, birnäçe gatlakly plýonka örtülip bilner we katod ýaý çeşmesi tarapyndan goýlan plýonka gatlagy köp gatlakly plýonkanyň arasyndaky gatlakdyr.
3. Katod ýaý çeşmesi örtükde gatnaşanda ýokary dykyzlykly elektron akymyny üpjün edýär, sepilen metal plýonka gatlagynyň atomlary we reaksiýa gazlary bilen çaknyşmagyň ähtimallygyny ýokarlandyrýar, çökündi tizligini, metalyň ionlaşma tizligini ýokarlandyrýar we çökündige kömek etmekde rol oýnaýar.
Magnetron püskürtme örtük maşynynda konfigurirlenen katod ýaý çeşmesi arassalaýjy çeşme, örtük çeşmesi we ionlaşdyrma çeşmesini birleşdirýär, bu bolsa ýaý plazmasyndaky ýaý elektron akymyny ulanmak arkaly magnetron püskürtme örtüginiň hilini ýokarlandyrmakda oňyn rol oýnaýar.
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 21-nji iýuny