ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং কোটিং গ্লো ডিসচার্জ পদ্ধতিতে করা হয়, যেখানে কোটিং চেম্বারে ডিসচার্জ কারেন্ট ডেনসিটি এবং প্লাজমা ডেনসিটি কম থাকে। এর ফলে ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং প্রযুক্তিতে ফিল্ম-সাবস্ট্রেট বন্ধন শক্তি কম, ধাতুর আয়নীকরণের হার কম এবং জমার হার কম হওয়ার মতো অসুবিধা দেখা দেয়। ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং কোটিং মেশিনে একটি আর্ক ডিসচার্জ ডিভাইস যুক্ত করা হয়, যা আর্ক ডিসচার্জ দ্বারা উৎপন্ন আর্ক প্লাজমার উচ্চ-ঘনত্বের ইলেকট্রন প্রবাহ ব্যবহার করে ওয়ার্কপিস পরিষ্কার করতে পারে। এটি কোটিং এবং সহায়ক জমার কাজেও অংশ নিতে পারে।
ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং কোটিং মেশিনে একটি আর্ক ডিসচার্জ পাওয়ার সোর্স যুক্ত করা হয়, যা একটি ছোট আর্ক সোর্স, একটি আয়তাকার প্ল্যানার আর্ক সোর্স, বা একটি নলাকার ক্যাথোড আর্ক সোর্স হতে পারে। ক্যাথোড আর্ক সোর্স দ্বারা উৎপন্ন উচ্চ-ঘনত্বের ইলেকট্রন প্রবাহ ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং কোটিং-এর সম্পূর্ণ প্রক্রিয়ায় নিম্নলিখিত ভূমিকা পালন করতে পারে:
১. ওয়ার্কপিসটি পরিষ্কার করুন। কোটিং করার আগে, ক্যাথোড আর্ক সোর্স ইত্যাদি চালু করুন, আর্ক ইলেকট্রন প্রবাহের মাধ্যমে গ্যাসকে আয়নিত করুন এবং কম শক্তি ও উচ্চ ঘনত্বের আর্গন আয়ন দিয়ে ওয়ার্কপিসটি পরিষ্কার করুন।
২. আর্ক সোর্স এবং ম্যাগনেটিক কন্ট্রোল টার্গেট একসাথে কোটিং করা হয়। কোটিং করার জন্য যখন গ্লো ডিসচার্জ সহ ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং টার্গেট সক্রিয় করা হয়, তখন ক্যাথোড আর্ক সোর্সও সক্রিয় করা হয়, এবং উভয় কোটিং সোর্স একই সাথে কোটিং করে। যখন ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং টার্গেটের উপাদান এবং আর্ক সোর্স টার্গেটের উপাদানের গঠন ভিন্ন হয়, তখন ফিল্মের একাধিক স্তর প্লেট করা যেতে পারে, এবং ক্যাথোড আর্ক সোর্স দ্বারা জমা হওয়া ফিল্ম স্তরটি বহু-স্তরীয় ফিল্মের একটি ইন্টারলেয়ার হিসেবে কাজ করে।
৩. কোটিং প্রক্রিয়ায় অংশগ্রহণের সময় ক্যাথোড আর্ক উৎস উচ্চ-ঘনত্বের ইলেকট্রন প্রবাহ সরবরাহ করে, যা স্পাটার্ড মেটাল ফিল্ম লেয়ারের পরমাণু এবং বিক্রিয়া গ্যাসের সাথে সংঘর্ষের সম্ভাবনা বাড়িয়ে দেয়, ফলে ডিপোজিশন হার ও মেটাল আয়োনাইজেশন হার উন্নত হয় এবং এটি ডিপোজিশনে সহায়ক ভূমিকা পালন করে।
ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং কোটিং মেশিনে ব্যবহৃত ক্যাথোড আর্ক সোর্সটি একটি ক্লিনিং সোর্স, কোটিং সোর্স এবং আয়োনাইজেশন সোর্সকে সমন্বিত করে, যা আর্ক প্লাজমার মধ্যে থাকা আর্ক ইলেকট্রন প্রবাহকে কাজে লাগিয়ে ম্যাগনেট্রন স্পাটারিং কোটিং-এর গুণগত মান উন্নয়নে ইতিবাচক ভূমিকা পালন করে।
পোস্ট করার সময়: ২১-জুন-২০২৩