Магнетрон цацалтын бүрхүүлийг гэрэлтдэг цэнэг алдалтаар гүйцэтгэдэг бөгөөд бүрхүүлийн камерт бага цэнэг алдалтын гүйдлийн нягтрал, плазмын нягтрал бага байдаг. Энэ нь магнетрон цацалтын технологийн сул талуудыг бий болгодог, тухайлбал хальсан суурь холболтын хүч бага, металлын ионжуулалтын хурд бага, тунадасжилтын хурд бага байдаг. Магнетрон цацалтын бүрхүүлийн машинд нуман цэнэг алдалтын төхөөрөмжийг нэмж оруулсан бөгөөд энэ нь нуман цэнэг алдалтаар үүссэн нуман плазмын өндөр нягтралтай электрон урсгалыг ашиглан ажлын хэсгийг цэвэрлэж, мөн бүрхүүл болон туслах тунадасжилтад оролцож болно.
Магнетроны цацалтын бүрэх машинд нуман цэнэглэх цахилгаан эх үүсвэр нэмнэ үү. Энэ нь жижиг нуман эх үүсвэр, тэгш өнцөгт хавтгай нуман эх үүсвэр эсвэл цилиндр хэлбэртэй катодын нуман эх үүсвэр байж болно. Катодын нуман эх үүсвэрээс үүссэн өндөр нягтралтай электрон урсгал нь магнетроны цацалтын бүрэх бүх үйл явцад дараах үүрэг гүйцэтгэж болно.
1. Ажлын хэсгийг цэвэрлэнэ. Бүрэхээс өмнө катодын нуман эх үүсвэрийг асааж, хийг нуман электрон урсгалаар ионжуулж, ажлын хэсгийг бага энерги, өндөр нягтралтай аргон ионоор цэвэрлэнэ.
2. Нумын эх үүсвэр болон соронзон хяналтын байг хамтад нь бүрсэн. Гэрэлтүүлэгч цэнэгтэй магнетрон цацалтын байг бүрэхээр идэвхжүүлэхэд катодын нумын эх үүсвэр бас идэвхжиж, хоёр бүрхүүлийн эх үүсвэрийг нэгэн зэрэг бүрсэн байна. Магнетрон цацалтын бай болон нумын эх үүсвэрийн байны найрлага өөр өөр үед олон давхар хальсыг бүрж болох бөгөөд катодын нумын эх үүсвэрийн хуримтлуулсан хальсны давхарга нь олон давхар хальсны завсрын давхарга юм.
3. Катодын нуман эх үүсвэр нь бүрэх ажилд оролцох үед өндөр нягтралтай электрон урсгалыг хангаж, цацагдсан металл хальсан давхаргын атомууд болон урвалын хийнүүдтэй мөргөлдөх магадлалыг нэмэгдүүлж, тунадасжих хурд, металлын ионжуулалтын хурдыг сайжруулж, тунадасжилтыг дэмжих үүрэг гүйцэтгэдэг.
Магнетрон цацалтын бүрэх машинд тохируулсан катодын нумын эх үүсвэр нь цэвэрлэх эх үүсвэр, бүрэх эх үүсвэр, ионжуулалтын эх үүсвэрийг нэгтгэдэг бөгөөд нуман плазм дахь нуман электрон урсгалыг ашиглан магнетрон цацалтын бүрэх чанарыг сайжруулахад эерэг үүрэг гүйцэтгэдэг.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 6-р сарын 21