Ho koaheloa ha magnetron ka ho qhala ho etsoa ka ho qhala ho phatsimang, ka bongata bo tlase ba hona joale ba ho qhala le bongata bo tlase ba plasma ka phapusing ea ho koaheloa. Sena se etsa hore theknoloji ea magnetron ka ho qhala e be le mathata a kang matla a tlase a ho kopanya substrate ea filimi, sekhahla se tlase sa ionization ea tšepe, le sekhahla se tlase sa ho qhala. Mochining oa ho koaheloa ha magnetron ka ho qhala, sesebelisoa sa ho qhala ha arc se eketsoa, se ka sebelisang phallo ea elektrone e nang le bongata bo phahameng ka har'a plasma ea arc e hlahisoang ke ho qhala ha arc ho hloekisa mosebetsi, E ka boela ea nka karolo ho qhala le ho qhala ho thusang.
Kenya mohlodi wa matla a ho ntsha arc ka hara mochini o koahelang magnetron sputtering, e ka bang mohlodi o monyane wa arc, mohlodi wa arc o foreimi e nang le khutlonnetsepa, kapa mohlodi wa arc wa cathode o nang le cylindrical. Phallo ya elektrone e nang le bongata bo boholo e hlahiswang ke mohlodi wa arc wa cathode e ka bapala mesebetsi e latelang tshebetsong yohle ya ho koahela magnetron sputtering:
1. Hloekisa mosebetsi. Pele o koahela, bulela mohlodi wa arc wa cathode, jj., ionisa kgase ka phallo ya elektrone ya arc, mme o hlwekise mosebetsi ka matla a tlase le di-ion tsa argon tse nang le density e phahameng.
2. Mohloli oa arc le sepheo sa taolo ea makenete li koahetsoe hammoho. Ha sepheo sa magnetron sputtering se nang le ho ntsha khanya se kentsoe tšebetsong bakeng sa ho koahela, mohloli oa cathode arc le oona oa kenngoa tšebetsong, 'me mehloli ka bobeli ea ho koahela e koahetsoe ka nako e le' ngoe. Ha sebopeho sa thepa ea magnetron sputtering le thepa ea mohloli oa arc li fapane, likarolo tse ngata tsa filimi li ka penteloa, 'me lera la filimi le behiloeng ke mohloli oa cathode arc ke lera le kopaneng filiming ea mekhahlelo e mengata.
3. Mohloli oa arc ea cathode o fana ka phallo ea elektrone e nang le bongata bo phahameng ha o nka karolo ho koaheleng, o eketsa monyetla oa ho thulana le liathomo tsa lera la filimi ea tšepe e tšolotsoeng le likhase tsa karabelo, o ntlafatsa sekhahla sa ho kenngoa ha tšepe, sekhahla sa ionization ea tšepe, le ho bapala karolo ho thuseng ho kenngoa ha eona.
Mohloli oa arc ea cathode o hlophisitsoeng mochining oa ho roala oa magnetron o kopanya mohloli oa ho hloekisa, mohloli oa ho roala, le mohloli oa ionization, o bapala karolo e ntle ho ntlafatseng boleng ba ho roala ha magnetron ka ho sebelisa phallo ea elektrone ea arc ka har'a plasma ea arc.
Nako ea poso: Phuptjane-21-2023