تُجرى عملية طلاء الترسيب بالرش المغنطروني في تفريغ متوهج، حيث تكون كثافة تيار التفريغ وكثافة البلازما منخفضة في حجرة الطلاء. وهذا ما يجعل تقنية الترسيب بالرش المغنطروني تعاني من عيوب، مثل ضعف قوة التصاق الفيلم بالركيزة، وانخفاض معدل تأين المعدن، وانخفاض معدل الترسيب. في جهاز طلاء الترسيب بالرش المغنطروني، يُضاف جهاز تفريغ قوسي، والذي يمكنه استخدام تدفق الإلكترونات عالي الكثافة في بلازما القوس الناتجة عن التفريغ القوسي لتنظيف قطعة العمل، كما يمكنه المشاركة في عملية الطلاء والترسيب المساعد.
أضف مصدر طاقة تفريغ القوس الكهربائي إلى جهاز طلاء الترسيب بالرش المغنطروني، والذي يمكن أن يكون مصدر قوس صغير، أو مصدر قوس مستوٍ مستطيل الشكل، أو مصدر قوس كاثودي أسطواني. يؤدي تدفق الإلكترونات عالي الكثافة الناتج عن مصدر القوس الكاثودي الأدوار التالية في عملية طلاء الترسيب بالرش المغنطروني بأكملها:
1. تنظيف قطعة العمل. قبل الطلاء، قم بتشغيل مصدر قوس الكاثود، وما إلى ذلك، وقم بتأيين الغاز بتدفق الإلكترونات القوسية، ونظف قطعة العمل بأيونات الأرجون منخفضة الطاقة وعالية الكثافة.
٢. يتم طلاء مصدر القوس الكهربائي وهدف التحكم المغناطيسي معًا. عند تنشيط هدف الترسيب بالرش المغناطيسي مع التفريغ المتوهج للطلاء، يتم تنشيط مصدر القوس الكهربائي الكاثودي أيضًا، ويتم طلاء كلا المصدرين في آن واحد. عندما يختلف تركيب مادة هدف الترسيب بالرش المغناطيسي عن مادة هدف مصدر القوس الكهربائي، يمكن طلاء طبقات متعددة من الفيلم، وتكون طبقة الفيلم المترسبة بواسطة مصدر القوس الكهربائي الكاثودي طبقة وسيطة في الفيلم متعدد الطبقات.
3. يوفر مصدر قوس الكاثود تدفقًا عالي الكثافة للإلكترونات عند المشاركة في الطلاء، مما يزيد من احتمالية التصادم مع ذرات طبقة الفيلم المعدني المتناثرة وغازات التفاعل، مما يحسن معدل الترسيب ومعدل تأين المعدن، ويلعب دورًا في المساعدة على الترسيب.
يدمج مصدر قوس الكاثود المُكوّن في آلة طلاء الترسيب المغناطيسي مصدر تنظيف ومصدر طلاء ومصدر تأين، مما يلعب دورًا إيجابيًا في تحسين جودة طلاء الترسيب المغناطيسي من خلال الاستفادة من تدفق الإلكترونات القوسية في بلازما القوس.
تاريخ النشر: 21 يونيو 2023