Isinasagawa ang magnetron sputtering coating sa pamamagitan ng glow discharge, na may mababang discharge current density at mababang plasma density sa coating chamber. Dahil dito, ang teknolohiya ng magnetron sputtering ay may mga disbentaha tulad ng mababang film substrate bonding force, mababang metal ionization rate, at mababang deposition rate. Sa magnetron sputtering coating machine, isang arc discharge device ang idinaragdag, na maaaring gumamit ng high-density electron flow sa arc plasma na nabuo ng arc discharge upang linisin ang workpiece. Maaari rin itong lumahok sa coating at auxiliary deposition.
Magdagdag ng arc discharge power source sa magnetron sputtering coating machine, na maaaring isang maliit na arc source, isang rectangular planar arc source, o isang cylindrical cathode arc source. Ang high-density electron flow na nalilikha ng cathode arc source ay maaaring gumanap ng mga sumusunod na papel sa buong proseso ng magnetron sputtering coating:
1. Linisin ang workpiece. Bago magpahid, buksan ang cathode arc source, atbp., i-ionize ang gas gamit ang arc electron flow, at linisin ang workpiece gamit ang low energy at high density argon ions.
2. Ang arc source at magnetic control target ay pinagsamang pinahiran. Kapag ang magnetron sputtering target na may glow discharge ay na-activate para sa coating, ang cathode arc source ay na-activate rin, at ang parehong coating source ay sabay na pinahiran. Kapag ang komposisyon ng magnetron sputtering target material at ng arc source target material ay magkaiba, maraming layer ng film ang maaaring lagyan ng plate, at ang film layer na idineposito ng cathode arc source ay isang interlayer sa multi-layer film.
3. Ang pinagmumulan ng arko ng katod ay nagbibigay ng mataas na densidad na daloy ng elektron kapag nakikilahok sa pagpapatong, pinapataas ang posibilidad ng pagbangga sa mga atomo at gas ng reaction gas ng nabubuhol na metal film layer, pinapabuti ang deposition rate, metal ionization rate, at gumaganap ng papel sa pagtulong sa deposition.
Ang pinagmumulan ng cathode arc na naka-configure sa magnetron sputtering coating machine ay nagsasama ng pinagmumulan ng paglilinis, pinagmumulan ng coating, at pinagmumulan ng ionization, na gumaganap ng positibong papel sa pagpapabuti ng kalidad ng magnetron sputtering coating sa pamamagitan ng paggamit ng arc electron flow sa arc plasma.
Oras ng pag-post: Hunyo-21-2023