Salutan percikan magnetron dijalankan dalam nyahcas cahaya, dengan ketumpatan arus nyahcas yang rendah dan ketumpatan plasma yang rendah di dalam ruang salutan. Ini menjadikan teknologi percikan magnetron mempunyai kelemahan seperti daya ikatan substrat filem yang rendah, kadar pengionan logam yang rendah, dan kadar pemendapan yang rendah. Dalam mesin salutan percikan magnetron, peranti nyahcas arka ditambah, yang boleh menggunakan aliran elektron berketumpatan tinggi dalam plasma arka yang dihasilkan oleh nyahcas arka untuk membersihkan bahan kerja, Ia juga boleh mengambil bahagian dalam salutan dan pemendapan tambahan.
Tambahkan sumber kuasa nyahcas arka dalam mesin salutan percikan magnetron, yang boleh menjadi sumber arka kecil, sumber arka satah segi empat tepat atau sumber arka katod silinder. Aliran elektron berketumpatan tinggi yang dihasilkan oleh sumber arka katod boleh memainkan peranan berikut dalam keseluruhan proses salutan percikan magnetron:
1. Bersihkan bahan kerja. Sebelum menyalut, hidupkan sumber arka katod, dsb., ionkan gas dengan aliran elektron arka, dan bersihkan bahan kerja dengan ion argon tenaga rendah dan ketumpatan tinggi.
2. Sumber arka dan sasaran kawalan magnet disalut bersama. Apabila sasaran percikan magnetron dengan nyahcas cahaya diaktifkan untuk salutan, sumber arka katod juga diaktifkan, dan kedua-dua sumber salutan disalut secara serentak. Apabila komposisi bahan sasaran percikan magnetron dan bahan sasaran sumber arka berbeza, berbilang lapisan filem boleh disalut, dan lapisan filem yang dimendapkan oleh sumber arka katod adalah lapisan antara dalam filem berbilang lapisan.
3. Sumber arka katod menyediakan aliran elektron berketumpatan tinggi apabila terlibat dalam salutan, meningkatkan kebarangkalian perlanggaran dengan atom lapisan filem logam yang terpercik dan gas tindak balas, meningkatkan kadar pemendapan, kadar pengionan logam, dan memainkan peranan dalam membantu pemendapan.
Sumber arka katod yang dikonfigurasikan dalam mesin salutan percikan magnetron menggabungkan sumber pembersihan, sumber salutan dan sumber pengionan, memainkan peranan positif dalam meningkatkan kualiti salutan percikan magnetron dengan menggunakan aliran elektron arka dalam plasma arka.
Masa siaran: 21 Jun 2023