Maqnetron püskürtmə örtüyü, örtük kamerasında aşağı boşalma cərəyanı sıxlığı və aşağı plazma sıxlığı ilə parıltılı boşalma şəraitində həyata keçirilir. Bu, maqnetron püskürtmə texnologiyasının aşağı film substratının bağlanma qüvvəsi, aşağı metal ionlaşma sürəti və aşağı çökmə sürəti kimi çatışmazlıqlara səbəb olur. Maqnetron püskürtmə örtük maşınında, qövs boşalması ilə yaranan qövs plazmasındakı yüksək sıxlıqlı elektron axınından istifadə edərək iş parçasını təmizləyə bilən bir qövs boşaltma cihazı əlavə olunur. O, həmçinin örtük və köməkçi çökmədə iştirak edə bilər.
Maqnetron püskürtmə örtük maşınına kiçik bir qövs mənbəyi, düzbucaqlı düz qövs mənbəyi və ya silindrik katod qövs mənbəyi ola bilən bir qövs boşaltma enerji mənbəyi əlavə edin. Katod qövs mənbəyi tərəfindən yaradılan yüksək sıxlıqlı elektron axını, maqnetron püskürtmə örtüyünün bütün prosesində aşağıdakı rolları oynaya bilər:
1. İş parçasını təmizləyin. Örtmədən əvvəl katod qövs mənbəyini və s. yandırın, qazı qövs elektron axını ilə ionlaşdırın və iş parçasını aşağı enerjili və yüksək sıxlıqlı argon ionları ilə təmizləyin.
2. Qövs mənbəyi və maqnit idarəetmə hədəfi birlikdə örtülür. Parıltılı boşalma ilə maqnetron püskürtmə hədəfi örtük üçün aktivləşdirildikdə, katod qövs mənbəyi də aktivləşir və hər iki örtük mənbəyi eyni vaxtda örtülür. Maqnetron püskürtmə hədəf materialının və qövs mənbəyi hədəf materialının tərkibi fərqli olduqda, birdən çox təbəqə təbəqəsi örtülə bilər və katod qövs mənbəyi tərəfindən çökdürülən təbəqə təbəqəsi çoxqatlı təbəqədə bir təbəqədir.
3. Katod qövs mənbəyi örtükləmədə iştirak edərkən yüksək sıxlıqlı elektron axını təmin edir, püskürən metal təbəqə atomları və reaksiya qazları ilə toqquşma ehtimalını artırır, çökmə sürətini, metal ionlaşma sürətini artırır və çökməyə kömək etməkdə rol oynayır.
Maqnetron püskürtmə örtük maşınında konfiqurasiya edilmiş katod qövs mənbəyi, qövs plazmasındakı qövs elektron axınından istifadə etməklə maqnetron püskürtmə örtüyünün keyfiyyətinin yaxşılaşdırılmasında müsbət rol oynayan təmizləmə mənbəyini, örtük mənbəyini və ionlaşma mənbəyini birləşdirir.
Yazı vaxtı: 21 iyun 2023