Kukulitsa Magnetron Sputtering Coating ndi Arc Discharge Power Supply

Kupaka kwa Magnetron sputtering kumachitika mu kuwala kotulutsa, ndi kuchulukira kwa mphamvu yotulutsa mpweya komanso kuchulukira kwa plasma m'chipinda chopaka. Izi zimapangitsa kuti ukadaulo wa sputtering wa magnetron ukhale ndi zovuta monga mphamvu yolumikizira pansi pa filimu yochepa, kutsika kwa ionization yachitsulo, komanso kutsika kwa mphamvu yoyika. Mu makina opaka sputtering a magnetron, chipangizo chotulutsa mpweya chimawonjezedwa, chomwe chingagwiritse ntchito kuyenda kwa ma elekitironi okwera kwambiri mu plasma ya arc yopangidwa ndi kutulutsidwa kwa arc kuti chiyeretse ntchito, Chingathenso kutenga nawo mbali mu kupota ndi kuyika kwa othandizira.

Onjezani gwero lamphamvu lotulutsa arc mu makina opaka utoto wa magnetron, lomwe lingakhale gwero laling'ono la arc, gwero la arc lozungulira, kapena gwero la cylindrical cathode arc. Kuyenda kwa ma electron okwera kwambiri komwe kumapangidwa ndi gwero la cathode arc kumatha kuchita izi munjira yonse yopaka utoto wa magnetron:
1. Tsukani chogwirira ntchito. Musanaphike, yatsani gwero la cathode arc, ndi zina zotero, ionize mpweya ndi arc electron flow, ndipo yeretsani chogwirira ntchito ndi mphamvu yochepa komanso ma argon ions okwera kwambiri.
2. Chowunikira cha arc source ndi maginito control target zimakutidwa pamodzi. Chowunikira cha magnetron sputtering ndi kuwala discharge chikayambitsidwa kuti chiphike, chowunikira cha cathode arc chimayambitsidwanso, ndipo magwero onse awiri ophimba amakutidwa nthawi imodzi. Pamene kapangidwe ka zinthu zowunikira za magnetron sputtering ndi chowunikira cha arc source zili zosiyana, zigawo zingapo za filimu zimatha kuphimbidwa, ndipo gawo la filimu lomwe limayikidwa ndi gwero la cathode arc ndi gawo lolumikizana mu filimu yokhala ndi zigawo zambiri.
3. Gwero la cathode arc limapereka kuyenda kwa ma elekitironi okwera kwambiri akamagwira ntchito yopaka utoto, zomwe zimapangitsa kuti pakhale mwayi wogundana ndi maatomu a filimu yachitsulo yotayidwa ndi mpweya wochitapo kanthu, kusintha kuchuluka kwa malo oyikapo, kuchuluka kwa ionization yachitsulo, komanso kuthandizira malo oyikapo.

Gwero la cathode arc lomwe limayikidwa mu makina opaka utoto wa magnetron limaphatikiza gwero loyeretsera, gwero lopaka utoto, ndi gwero la ionization, zomwe zimathandiza kwambiri pakukweza mtundu wa utoto wa magnetron sputtering pogwiritsa ntchito kayendedwe ka ma elekitironi a arc mu plasma ya arc.