A máa ń ṣe àwọ̀ Magnetron sputtering ní ìtújáde ìmọ́lẹ̀, pẹ̀lú ìwọ̀n ìtújáde díẹ̀ àti ìwọ̀n plasma kékeré nínú yàrá ìbòrí. Èyí mú kí ìmọ̀ ẹ̀rọ magnetron sputtering ní àwọn àléébù bíi agbára ìsopọ̀ fíìmù kékeré, ìwọ̀n ionization irin kékeré, àti ìwọ̀n ìtújáde kékeré. Nínú ẹ̀rọ ìbòrí magnetron sputtering, a fi ẹ̀rọ ìtújáde arc kún un, èyí tí ó lè lo ìṣàn elekitironi gíga nínú plasma arc tí a ṣe láti inú ìtújáde arc láti nu iṣẹ́ náà mọ́, Ó tún lè kópa nínú ìbòrí àti ìtújáde ìrànlọ́wọ́.
Fi orísun agbára ìtújáde arc kún ẹ̀rọ ìbòrí magnetron sputtering, èyí tí ó lè jẹ́ orísun arc kékeré, orísun arc onígun mẹ́rin, tàbí orísun arc cathode cylindrical. Ìṣàn elekitironi oníwọ̀n gíga tí orísun arc cathode ń mú jáde lè kó ipa wọ̀nyí nínú gbogbo ìlànà ìbòrí magnetron sputtering:
1. Nu iṣẹ́ náà mọ́. Kí o tó fi bo ara rẹ, tan orísun arc cathode, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, fi ion ṣe ion nínú gáàsì náà pẹ̀lú ìṣàn arc electron, kí o sì fi agbára díẹ̀ àti ìwọ̀n gíga ti argon ions nu iṣẹ́ náà mọ́.
2. A fi orísun arc àti ibi ìṣàkóso oofa bo ara wọn. Nígbà tí a bá fi agbára magnetron sputtering target pẹ̀lú ìtújáde glove sí i, a tún fi agbára cathode arc sí i, a sì fi agbára bo orísun arc méjèèjì ní àkókò kan náà. Nígbà tí ìdàpọ̀ ohun èlò ìfọ́ magnetron sputtering àti ohun èlò ìfọ́ arc bá yàtọ̀ síra, a lè fi agbára fíìmù bò ó, àti pé ìpele fíìmù tí orísun arc cathode fi sí i jẹ́ ìpele àárín nínú fíìmù onípele púpọ̀.
3. Orísun arc cathode náà ń pese ìṣàn elekitironi oníwọ̀n gíga nígbà tí ó bá ń kópa nínú ìbòrí, ó ń mú kí ó ṣeéṣe kí ó dojúkọ àwọn átọ̀mù fẹlẹfẹlẹ irin tí a fi omi bò àti àwọn gáàsì ìṣesí, ó ń mú kí ìwọ̀n ìforúkọsílẹ̀ sunwọ̀n síi, ìwọ̀n ionization irin, ó sì ń kó ipa nínú ṣíṣe ìrànlọ́wọ́ fún ìforúkọsílẹ̀.
Orísun cathode arc tí a ṣètò nínú ẹ̀rọ ìbòrí magnetron sputtering ń so orísun ìwẹ̀nùmọ́, orísun ìbòrí, àti orísun ionization pọ̀, ó sì ń kó ipa rere nínú mímú dídára ìbòrí magnetron sputtering sunwọ̀n síi nípa lílo ìṣàn arc electron nínú plasma arc.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹfà-21-2023