សូមស្វាគមន៍មកកាន់ក្រុមហ៊ុន Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd.
បដាតែមួយ

ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពថ្នាំកូត Magnetron Sputtering ជាមួយនឹងការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល Arc Discharge

ប្រភពអត្ថបទ៖ ម៉ាស៊ីនបូមធូលី Zhenhua
អាន៖ ១០
បានចេញផ្សាយ៖ 23-06-21

ការស្រោបម៉ាញ៉េត្រុងស្ព្រាតធឺរីងត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងការបញ្ចេញពន្លឺ ដែលមានដង់ស៊ីតេចរន្តបញ្ចេញទាប និងដង់ស៊ីតេប្លាស្មាទាបនៅក្នុងបន្ទប់ស្រោប។ នេះធ្វើឱ្យបច្ចេកវិទ្យាស្ព្រាតធឺរីងម៉ាញ៉េត្រុងមានគុណវិបត្តិដូចជាកម្លាំងភ្ជាប់ស្រទាប់ខាងក្រោមខ្សែភាពយន្តទាប អត្រាអ៊ីយ៉ូដលោហៈទាប និងអត្រាការដាក់លោហៈទាប។ នៅក្នុងម៉ាស៊ីនស្រោបម៉ាញ៉េត្រុងស្ព្រាតធឺរីង ឧបករណ៍បញ្ចេញចរន្តអគ្គិសនីត្រូវបានបន្ថែម ដែលអាចប្រើលំហូរអេឡិចត្រុងដង់ស៊ីតេខ្ពស់នៅក្នុងប្លាស្មាចរន្តអគ្គិសនីដែលបង្កើតឡើងដោយការបញ្ចេញចរន្តអគ្គិសនីដើម្បីសម្អាតស្នាដៃ ហើយវាក៏អាចចូលរួមក្នុងការស្រោប និងការដាក់លោហៈជំនួយផងដែរ។

ម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតពហុធ្នូ

បន្ថែមប្រភពថាមពលបញ្ចេញចរន្តអគ្គិសនីនៅក្នុងម៉ាស៊ីនស្រោបម៉ាញ៉េត្រុង ដែលអាចជាប្រភពចរន្តអគ្គិសនីតូចមួយ ប្រភពចរន្តអគ្គិសនីរាងចតុកោណកែង ឬប្រភពចរន្តអគ្គិសនីកាតូតរាងស៊ីឡាំង។ លំហូរអេឡិចត្រុងដង់ស៊ីតេខ្ពស់ដែលបង្កើតឡើងដោយប្រភពចរន្តអគ្គិសនីកាតូតអាចដើរតួនាទីដូចខាងក្រោមនៅក្នុងដំណើរការទាំងមូលនៃស្រោបម៉ាញ៉េត្រុង៖
១. សម្អាត​ស្នាដៃ។ មុនពេល​លាបថ្នាំ សូមបើក​ប្រភព​ធ្នូ​កាតូត ជាដើម ធ្វើ​អ៊ីយ៉ូដ​ឧស្ម័ន​ជាមួយ​នឹង​លំហូរ​អេឡិចត្រុង​ធ្នូ ហើយ​សម្អាត​ស្នាដៃ​ដោយ​ប្រើ​អ៊ីយ៉ុង​អារហ្គុន​ថាមពល​ទាប និង​ដង់ស៊ីតេ​ខ្ពស់។
2. ប្រភពធ្នូ និងគោលដៅត្រួតពិនិត្យម៉ាញេទិកត្រូវបានស្រោបជាមួយគ្នា។ នៅពេលដែលគោលដៅបាញ់ម៉ាញេទិកត្រុងដែលមានការបញ្ចេញពន្លឺត្រូវបានធ្វើឱ្យសកម្មសម្រាប់ការស្រោប ប្រភពធ្នូកាតូតក៏ត្រូវបានធ្វើឱ្យសកម្មផងដែរ ហើយប្រភពថ្នាំកូតទាំងពីរត្រូវបានស្រោបក្នុងពេលដំណាលគ្នា។ នៅពេលដែលសមាសធាតុនៃសម្ភារៈគោលដៅបាញ់ម៉ាញេទិកត្រុង និងសម្ភារៈគោលដៅប្រភពធ្នូគឺខុសគ្នា ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តច្រើនស្រទាប់អាចត្រូវបានស្រោប ហើយស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តដែលដាក់ដោយប្រភពធ្នូកាតូតគឺជាស្រទាប់អន្តរនៅក្នុងខ្សែភាពយន្តច្រើនស្រទាប់។
៣. ប្រភពធ្នូកាតូតផ្តល់នូវលំហូរអេឡិចត្រុងដង់ស៊ីតេខ្ពស់នៅពេលចូលរួមក្នុងការស្រោប ដែលបង្កើនប្រូបាប៊ីលីតេនៃការប៉ះទង្គិចជាមួយអាតូមស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តលោហៈដែលប្រឡាក់ និងឧស្ម័នប្រតិកម្ម ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវអត្រានៃការដាក់លោហៈ អត្រាអ៊ីយ៉ូដនីយកម្ម និងដើរតួនាទីក្នុងការជួយដល់ការដាក់លោហៈ។

ប្រភពធ្នូកាតូតដែលត្រូវបានកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធនៅក្នុងម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតម៉ាញ៉េត្រុងស្ព្រាតធឺរីងរួមបញ្ចូលប្រភពសម្អាត ប្រភពថ្នាំកូត និងប្រភពអ៊ីយ៉ូដនីយកម្ម ដែលដើរតួនាទីវិជ្ជមានក្នុងការកែលម្អគុណភាពនៃថ្នាំកូតម៉ាញ៉េត្រុងស្ព្រាតធឺរីងដោយប្រើប្រាស់លំហូរអេឡិចត្រុងធ្នូនៅក្នុងប្លាស្មាធ្នូ។


ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២១ ខែមិថុនា ឆ្នាំ ២០២៣