Пӯшиши пошидани магнетронӣ дар ҳолати разряди дурахшонӣ бо зичии пасти ҷараёни разряди ва зичии пасти плазма дар камераи рӯйпӯшкунӣ анҷом дода мешавад. Ин технологияи пошидани магнетронро бо камбудиҳо, ба монанди қувваи пасти пайвастшавӣ ба субстрати плёнка, суръати пасти ионизатсияи металл ва суръати пасти таҳшиншавӣ таъмин мекунад. Дар мошини рӯйпӯшкунии пошидани магнетронӣ дастгоҳи разряди камон илова карда шудааст, ки метавонад ҷараёни электронҳои зичии баландро дар плазмаи камон, ки аз разряди камонӣ ба вуҷуд омадааст, барои тоза кардани қисмати корӣ истифода барад ва инчунин метавонад дар рӯйпӯшкунӣ ва таҳшинкунии ёрирасон иштирок кунад.
Дар мошини пӯшонидани пошидани магнетронӣ манбаи қувваи разряди камонро илова кунед, ки метавонад манбаи камони хурд, манбаи камони ҳамвори росткунҷа ё манбаи камони катоди силиндрӣ бошад. Ҷараёни электронҳои зичии баланд, ки аз ҷониби манбаи камони катодӣ ба вуҷуд меояд, метавонад дар тамоми раванди пӯшонидани пошидани магнетронӣ нақшҳои зеринро бозад:
1. Қисми корро тоза кунед. Пеш аз пӯшонидан, манбаи камони катод ва ғайраро фаъол созед, газро бо ҷараёни электронҳои камон ионизатсия кунед ва қисмати корро бо энергияи кам ва зичии баланди ионҳои аргон тоза кунед.
2. Манбаи камон ва ҳадафи идоракунии магнитӣ якҷоя пӯшонида мешаванд. Вақте ки ҳадафи пошидани магнетрон бо разряди дурахшон барои пӯшонидан фаъол мешавад, манбаи камони катод низ фаъол мешавад ва ҳарду манбаи пӯшонидан ҳамзамон пӯшонида мешаванд. Вақте ки таркиби маводи ҳадафи пошидани магнетрон ва маводи ҳадафи манбаи камон гуногун аст, қабатҳои сершумори плёнкаро пӯшонидан мумкин аст ва қабати плёнкае, ки аз ҷониби манбаи камони катод гузошта мешавад, қабати байниқабатӣ дар плёнкаи бисёрқабата мебошад.
3. Манбаи камони катод ҳангоми иштирок дар пӯшиш ҷараёни электронҳои зичии баландро таъмин мекунад, эҳтимолияти бархӯрд бо атомҳои қабати плёнкаи металлии пошидашуда ва газҳои реаксияро зиёд мекунад, суръати таҳшиншавӣ, суръати ионизатсияи металлро беҳтар мекунад ва дар мусоидат ба таҳшиншавӣ нақш мебозад.
Манбаи камони катод, ки дар мошини пӯшонидани пошидани магнетронӣ танзим шудааст, манбаи тозакунӣ, манбаи пӯшиш ва манбаи ионизатсияро муттаҳид мекунад ва бо истифода аз ҷараёни электронҳои камон дар плазмаи камон дар беҳтар кардани сифати пӯшонидани пошидани магнетронӣ нақши мусбат мебозад.
Вақти нашр: 21 июни соли 2023